판매용 중고 BARON BLAKESLEE SCS-425 #9021062
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ID: 9021062
Vapor phase system
With elevator
3 phase, 60 Hz 30 kW
18 x 30 tray
Tank: 60" high.
BARON BLAKESLEE SCS-425 웨이퍼 처리 장비는 대용량 생산 및 연구 응용프로그램을 위한 광범위한 처리 기능을 가능하게 하도록 설계된 고성능 도구입니다. SCS-425는 최첨단 설계를 통해 한 번에 최대 4개의 8 인치 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 고급 에칭, 마스킹, 증착 기능 등 다양한 어플리케이션 기능을 제공합니다. BARON BLAKESLEE SCS-425에는 처리 기능을 최적화하고 생산성을 높이도록 설계된 여러 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 온도 조절 시스템 및 3 가지 코어 처리 기능 (에칭, 마스킹 및 증착) 동안 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하기위한 이중 축 전동 웨이퍼 단계가 포함됩니다. 온도 제어 장치 (Temperature Control Unit) 는 각 웨이퍼의 일관성 있고 안정적인 온도 조절을 운영자 간섭 없이 보장하는 반면, 이중 축 전동 웨이퍼 스테이지는 웨이퍼의 3 차원 방향을 허용하여 에치, 마스크 및 증착 과정을 정확하게 제어합니다. 또한 SCS-425는 향상된 프로세스 제어 및 감지 기능을 지원하는 고해상도 디지털 카메라 모듈을 갖추고 있습니다. 이 내장형 "카메라 '기계 는 처리 중 에 각" 웨이퍼' 에 대한 수천 장 의 사진 을 찍을 수 있으며, 각 "웨이퍼 '의" 마스킹' 및 증착 층 의 패턴 품질 을 검사 하는 데 사용 될 수 있다. BARON BLAKESLEE SCS-425 (BARON BLAKESLEE SCS-425) 에는 프로세스 단계를 감독하고 모니터링하는 데 걸리는 시간을 단축하기 위해 설계된 고급 자동화 도구가 장착되어 있습니다. 이 도구는 데이터 로그에 필요한 모든 프로세스 매개변수를 기록하고, 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 에셋은 필요에 따라 자동으로 매개변수를 조정합니다. 또한, 모델에는 자동화된 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 언로더 (unloader) 가 장착되어 있어 와퍼의 무접촉 전송이 가능하므로 손상 가능성이 없습니다. SCS-425에는 안전하고 안정적인 작동이 가능한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 안전 커튼 (Safety Curtains), 가시 배리어 레이저 (Visible Barrier Laser) 및 카메라 기반 연동 장비가 포함되어 있어 시스템이 다음 주기를 시작하기 전에 웨이퍼가 완전히 처리되고 안전합니다. 이러한 기능을 사용하면 가장 효율적이고 안전한 방식으로 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 결론적으로, BARON BLAKESLEE SCS-425 웨이퍼 처리 장치는 대용량 프로세스 응용 프로그램에서 안정성, 정밀성 및 효율성을 제공하도록 설계된 고가용성 기계입니다. 고급 자동화 툴과 포괄적인 안전 기능을 갖춘 이 툴은 프로세스 제어를 강화하고 생산성을 향상시켜 최대 4 개의 8 인치 (8 인치) 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. SCS-425 는 강력한 기능을 갖춘 고성능 툴을 필요로 하는 연구/운영 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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