판매용 중고 BARON BLAKESLEE MLR-480LE #138708
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ID: 138708
Degreasers
Specifications:
Stainless construction
(2) Sumps: 24 x 20 x 20"
Water-cooled primary coils
Freeboard: 100+%
Refrigerated freeboard chiller
Tight sliding cover
Solvent capacity: 118 gallons
Spray wand
Power requirements: 230V, 3-phase
(4) MLR480LE overhead automatic hoist systems.
BARON BLAKESLEE MLR-480LE은 정밀 연마 및 에치 후 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고성능, 안정적인 데이터 수집, 프로세스 모니터링을 통해 웨이퍼 (wafer) 처리에 필요한 모든 기능을 제공합니다. 다듬는 응용 프로그램의 경우, MLR-480LE에는 로터리 모션 컨트롤 스핀들 (rotary motion-control spindle) 과 정밀 서보 포지셔너 (precision servo positioner) 가 장착되어 있어 프로세스의 정확성과 반복성이 우수합니다. 이 장치는 또한 자동화된 (automated) 프로세스와 수동 (manual) 연마 프로세스를 결합하여 높은 효율성과 일관성, 고품질 결과를 제공합니다. 이 기계의 에치 후 (post-etch) 처리 기능은 웨이퍼 기반 장치 및 기판과 같은 대용량 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. BARON BLAKESLEE MLR-480LE에는 완벽하게 자동화된 패턴 인식, 결함 감지, 평가 도구가 장착되어 있어 사용자에게 실시간 데이터 및 프로세스 제어를 제공합니다. 이 도구는 또한 온도통합 제어 (integrated temperature control) 와 가변 광택 압력, 속도, 방향 설정 등의 도움을 받아 균일하고 일관된 결과를 제공합니다. 자동화된 결함 감지 (automated defect detection) 기능을 통해 운영자는 결함을 신속하게 식별하고 제거할 수 있으므로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. MLR-480LE에는 편리한 명령, GUI (Graphical User Interface) 등 사용자 친화적인 다양한 기능이 장착되어 있어 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 에셋의 온보드 진단 모델은 안정적인 성능 및 wafer-processing 프로세스를 지속적으로 모니터링합니다. 추가 안전 및 데이터 처리를 위해 BARON BLAKESLEE MLR-480LE에는 온보드 RFID 리더 및 웨이퍼 추적 카메라가 포함되어 있습니다. MLR-480LE은 처리 능력, 대용량 운영 기능, 실시간 프로세스 모니터링, 향상된 안전/데이터 처리 기능 등에서 탁월한 정확성과 반복성을 제공하는 뛰어난 wafer-processing 장비입니다. 이 시스템은 연마 (polishing) 및 에치 후 (post-etch) 어플리케이션에 이상적이며, 다양한 웨이퍼 베이스 장치 및 기판의 정밀 머시닝을 위해 안정적이고 효율적인 선택이 가능합니다.
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