판매용 중고 AUTOCLEAN ISG-2000 #9384196
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AUTOCLEAN ISG-2000 (AUTOCLEAN ISG-2000) 은 자동 웨이퍼 처리 장비로, 웨이퍼 청소를 최적화하여 제품의 생산량과 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이 시스템은 정교한 알고리즘 (algorithm) 과 강력한 고급 컴포넌트 (advanced component) 를 활용하여 웨이퍼 표면에서 입자를 청소하기가 가장 어렵습니다. 이 장치는 로봇 변경, 공구 가동 중지 시간, 수동 작업 (manual operation) 을 줄여 생산성 향상, 비용 절감 효과를 제공하도록 설계되었습니다. ISG-2000 기계의 중앙 구성 요소에는 고급 로봇 분배 노즐, 통합 로봇 비전, 고급 웨이퍼 클리닝 유체, 다중 진공 및 청소 장치, 온보드 프로세스 및 제어 컴퓨터가 포함됩니다. 로봇 분배 노즐 (robotic dispensing nozzle) 은 청소액 (cleaning fluid) 을 웨이퍼에 주입하는 데 사용되며, 로봇 비전 도구는 웨이퍼 표면을 면밀히 모니터링하고, 웨이퍼 표면의 입자 오염을 극도로 정확하게 식별하고 인식합니다. 이를 통해 효율적이고 정확한 청소 결과를 얻을 수 있습니다. 클리닝 프로세스에 사용되는 클리닝 유체는 AUTOCLEAN 에셋에 사용하도록 특별히 설계된 고급, 최적화 된 공식입니다. 이 공식은 전문화 된 세제, 첨가제 및 계면 활성제로 구성되며, 웨이퍼 표면에 대한 최소 잔류 또는 간섭으로 우수한 청소 결과를 생성합니다. 세척 액체 는 가장 어려운 입자 들 까지도 신속 히 분해 하고 제거 하는 한편, "웨이퍼 '표면 을" 스크러빙' 또는 연마 운동 으로 인한 손상 으로부터 보호 해 준다. 일단 유체 를 걸면, 여러 개 의 진공 및 청소 장치 를 사용 하여 "웨이퍼 '표면 에서 입자 를 안전 하게 제거 한다. 진공 장치 는, 효율적 이고 정확 한 방법 으로 흙, 먼지, 입자 를 끌어내리는 역할 을 한다. 그런 다음, 융통성 있는 청소 장치 는 "웨이퍼 '표면 에서 잔류 파편 을 부드럽게 문지르면서 청소 과정 을 마친다. 이러한 모든 장치는 온보드 프로세스 (onboard process) 및 제어 컴퓨터 (control computer) 에 의해 제어되므로 전체 클리닝 주기의 최적의 정확한 타이밍이 보장됩니다. AUTOCLEAN ISG-2000은 향상된 수율과 품질을 제공하는 강력하고 고급 웨이퍼 처리 모델입니다. 첨단 클리닝 유체 공식 (cleaning fluid formula) 과 결합된 정교한 알고리즘과 강력한 컴포넌트의 세심한 통합은 매번 안정적이고 정확한 결과를 보장합니다. 생산성 향상, 비용 절감, 뛰어난 웨이퍼 클린 (Wafer Cleanliness) 기능을 갖춘 AUTOCLEAN 처리 장비는 모든 웨이퍼 제작 프로세스에 매우 중요한 추가 기능입니다.
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