판매용 중고 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT X30A #9037537

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT X30A "other wafer processing" 장비는 반도체 업계의 웨이퍼 수준 및 장치 수준 포장 작업을 자동화하도록 설계된 정교한 다목적 시스템입니다. 최첨단 제품으로, 처리량을 높이고 비용을 절감할 수 있는 통합, 고속, 경제적인 솔루션을 제공합니다. 이 기계는 다른 공정 챔버 사이의 웨이퍼 전환 및 운송을 허용합니다. AAT X30A는 5 개의 자동 로드록과 수동으로 작동하는 백사이드 클리닝 챔버가있는 통합 로드 록 (loadlock) 도구를 제공합니다. 이 고효율 자산은 한 번에 여러 개의 웨이퍼 크기, 모양, 기판을 처리할 수 있습니다. 고속 웨이퍼 (Wafer) 전송 속도와 고급 자동화 기능을 제공하여 다운타임을 크게 줄이고 생산성을 향상시킵니다. 이 모델은 또한 처리량을 늘리는 배치 장비를 제공하며, 표준 플라즈마, 이온 이식, 에칭, 증착실 등 다양한 습식 처리 챔버를 제공합니다. 유연한 시스템은 사용자에게 친숙한 제어 인터페이스 (Control Interface) 와 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 기능으로 인해 프로세스를 보다 효율적으로 제어 및 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 낮은 입자 생성 (흙) 작업을 제공하여 다운타임을 줄이고 칩 수율을 개선합니다. 이 장치에는 고급 제어 장치 (Advanced Control Machine) 와 강력한 소프트웨어가 장착되어 있어 각 웨이퍼의 데이터를 모니터링, 기록, 저장 및 시각화할 수 있습니다. 와퍼 스크래치, 에지 칩, 염색 (staining) 을 감지하는 고급 비전 툴과 정교한 결함 감지 에셋을 제공합니다. 편의를 위해 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY X30A는 기존 공장 자동화 시스템 및 시설과의 완벽한 통합을 제공합니다. 또한 뛰어난 액세서빌러티 (accessibility) 기능을 통해 사용자가 신속하게 구성 요소를 변경하고 설정을 신속하게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. X30A는 설치 공간, 고급 (advanced), 신뢰성 있는 운영 기능을 갖추고 있어 반도체 업계의 웨이퍼 처리 (wafer processing) 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.