판매용 중고 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C #9256486

AAT Microjet D/C는 반도체 응용 프로그램의 요구에 맞게 구성된 종합 웨이퍼 처리 장비입니다. 실리콘 (Silicon) 이나 복합 반도체 (Compound Semiconductor) 장치 생산에서 가동 시간과 효율성을 극대화할 수 있는 혁신적인 통합 시스템이다. 이 장치에는 스핀 코터 (spin coater), 에처 (etcher) 및 건조기 (dryer) 를 포함한 고급 공정 도구가 장착되어 있어 웨이퍼 처리 전, 중, 후에 광범위한 증착 및 치료 준수가 가능합니다. AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet D/C는 특허를받은 고급 MicroJet 기술을 사용하여 웨이퍼에 박막을 입금하고 치료할 때 최고의 정밀도를 달성합니다. 이 기술은 균일하고 고품질의 유전체 층을 통해 매우 균일 한 두께 (얇은 500nm) 를 제공합니다. 또한, 제트 가능 공기 흐름은 웨이퍼 (wafer) 가장자리의 필름 균일성을 최대화하고 입자 오염을 최소화합니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 처리를 최적화하는 포괄적인 프로세스 제어 제품군을 제공합니다. 이 제품군을 통해 운영자는 주요 성능 지표를 모니터링하고, 다양한 유형의 웨이퍼에 대한 증착률 (deposition flow rate) 을 최적화하고, 가스 흐름 균일성을 보장하며, 실시간 필름 품질 정보를 볼 수 있습니다. 이 제품군은 또한 여러 인라인 (in-line) 분석 도구를 통합하여 더 나은 제어 및 추적 기능을 제공합니다. 이러한 분석 도구에는 분광계, 입자 카운터, FTIR 및 라만 분광계가 포함됩니다. 또한, 이 도구는 폐기물 처리 자산, 발전기 및 공기 스크러버를 내장하여 엄격한 환경 표준을 유지합니다. 폐기물 처리 모델 (Waste Treatment Model) 은 유해 물질의 안전한 폐기를 보장하는 반면, 발전기 및 공기 스크러버는 장비가 지역 배출량 규정과 호환되는지 확인합니다. 전반적으로 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet D/C는 효율적이고 효과적인 웨이퍼 처리를 위해 포괄적이고 안정적인 솔루션입니다. 고급 프로세스 툴, 포괄적인 프로세스 제어 제품군 (process control suite) 및 엄격한 환경 표준 (environmental standard) 은 모두 이 시스템으로 처리된 모든 웨이퍼가 품질 유지 및 안전 규정을 준수하도록 보장합니다.