판매용 중고 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT ARS 218 #9234903
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AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT ARS 218은 예술, 기타 웨이퍼 처리 장비의 상태입니다. 이 시스템은 산업 생산 환경에 효율적이고 강력한 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. AAT ARS 218 장치는 적절한 프로세스 기술을 사용하여 메모리, 논리, 광전자 장치 등 이산 및 결합 된 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 완전 자동화 된 멀티 캐비티 카세트 지향 로드 포트 (load port) 와 함께 제공되며, 다양한 로봇 취급 시스템과 인터페이스 할 수 있습니다. 또한 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY ARS 218 은 프로세스 모니터링, 데이터 로깅, 프로세스 제어 기능을 통해 웨이퍼 처리를 정확하고 반복적으로 수행할 수 있습니다. 모든 공기 흐름 및 공정 챔버는 주변 환경에서 완전히 분리됩니다. 모든 프로세스 및 환경 관리 시스템은 완벽한 인증을 받았으며, 해당 안전 사양을 충족합니다. 이 도구는 또한 여러 도량형 센서 (예: 기판 온도, 두께, 평평) 와 같은 여러 고급 프로세스 모니터링 시스템을 통합합니다. 이러한 기능을 통해 정확하고 제어된 웨이퍼 처리 (wafer processing) 를 통해 수율이 높아지고 처리량이 향상됩니다. 에셋은 또한 정밀 타이밍 된 증기 상 화학 서열을 생성하기위한 고성능 가스 시퀀서 (gas sequencer) 를 특징으로합니다. 이렇게 하면 다양한 프로세스 기능 (사용자 정의 프로세스의 가능성 포함) 이 제공됩니다. 다른 웨이퍼 처리 (wafer processing) 모델에는 다양한 자동 검증 (automated validation) 및 검증 (verification) 프로세스가 장착되어 있어 장비가 언제든지 완벽하게 작동됩니다. ARS 218 은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 필요로 하는 애플리케이션에 완벽한 선택으로, 뛰어난 수익률 및 처리량을 제공합니다. 또한, 시스템은 다양한 프로세스 및 도량형 (metrology) 기술을 지원하여 여러 웨이퍼 프로세스 기술을 적용 할 수 있습니다.
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