판매용 중고 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT 9700 #9228052

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700은 다양한 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 일체형 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. 시스템은 확장 가능하도록 설계되었으며, 장치당 최대 웨이퍼 수는 최대 9 개입니다. 또한, 다양한 유형의 웨이퍼에 대한 개인화 된 오퍼링을 허용하는 고급 프로덕션 컨트롤 머신 (Production Control Machine) 이 있습니다. 이 도구에는 고온 epi-ready 웨이퍼를 처리하는 기능이 포함되어 있으며, RF 용지, 기판 수준 응용 프로그램 등 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 웨이퍼 로딩의 경우, AAT 9700은 풀 프레임 (full-frame) 과 하프 프레임 웨이퍼 (half-frame wafer) 의 정확하고 자동 로드 및 언로드를 제공하며, 현대 생산 프로세스의 요구를 충족시키는 데 필요한 자동화 수준을 제공합니다. 이 자산은 멀티 챔버 (multi-chamber), 멀티 스텝 웨이퍼 프로세싱 (multi-step wafer processing) 을 가능하며 유연성이 뛰어나고 산업 등급 구성 요소를 안정적으로 사용할 수 있습니다. 웨이퍼는 모델에 직접 로드하거나, 이미 적재 된 웨이퍼 용기를 사용하여 온보드 가열로 (integrated heated furnace) 에 처리 할 수 있습니다. 샘플 가열의 경우, AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY 9700은 최대 온도에 도달 할 수있는 단일 또는 다중 챔버 가열로를 통해 정확한 온도 제어를 제공합니다. 용광로 내의 온도 균일성은 유지 될 수 있으며, 오염을 피하기 위해 공기 제거를위한 자체 포함 된 가스 라인 (gas line) 이 있습니다. 다른 기능으로는 가스 핸드 오프 시스템 (gas handoff system) 과 안전 시스템 (safety system) 이 있습니다. 프로세스 제어 및 모니터링을 위해, 9700 은 장비의 구성 및 관리를 지원하는 다수의 통합 소프트웨어 시스템 (Integrated Software System) 을 갖추고 있습니다. 여기에는 웨이퍼 프로세싱 (wafer processing) 의 모든 측면에 대한 컴퓨터 제어를 위한 통합 소프트웨어 및 하드웨어 기반 시스템이 포함됩니다. 여기에는 모든 운영 프로세스의 자동화, 품질 관리 (Quality Control) 및 유지 보수 (Maintenance) 에 필요한 정보 로깅 등이 포함됩니다. 장치 (unit-level) 에서, 기계는 초기 단계에서 프로세스의 잠재적 오류를 감지할 수 있는 진단 기능을 제공합니다. 마지막으로, AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700은 다양한 추가 기능과 서비스를 제공하며, 모두 사용자 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 원격 진단, 원격 액세스 및 지원 서비스, 보다 복잡한 작업을 위한 맞춤형 소프트웨어 프로그래밍 등이 포함됩니다. 이러한 모든 서비스는 사용자에게 웨이퍼 (wafer) 처리 주기를 통해 가능한 한 많은 제어 권한을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로, AAT 9700은 다양한 다른 웨이퍼 프로세스 어플리케이션을 위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 통합 소프트웨어 시스템, 유연한 아키텍처 (architecture) 및 온도 조절 (temperature control) 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다.