판매용 중고 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT 9200 #9281385
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AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9200은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 기계는 산화물 에칭, 증착, 포토 esist 코팅 및 개발, 플라즈마 에칭, 금속 이온 이온 이식, 도금 등 다양한 웨이퍼 작업을 수행 할 수 있습니다. AAT 9200은 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 수동 (manual) 또는 반자동 (semi-automated) 작동을 위해 구성할 수 있습니다. 오스틴 아메리칸 테크놀로지 9200 (AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY 9200) 은 최적화된 고도로 생산적인 웨이퍼 처리 시스템을 제공하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 Multi-Chem Resist Strip Module이 포함되어 있으므로 다양한 웨이퍼 에칭 및 증착 프로세스가 가능합니다. 또한 모듈 식 로딩 스테이션이 있으며, 최대 8 개의 웨이퍼를 기계에 동시에 적재 할 수 있습니다. 또한, 기계는 일관된 품질과 안정적인 성능을 보장하는 가스 정화 (gas purification) 도구를 포함합니다. 9200은 또한 자동화된 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 연산자는 프로세스 매개 변수를 미리 설정할 수 있으며, 에셋은 자동으로 프로세스 (process) 를 적절하게 조정합니다. 이를 통해 일관된 제품을 제공하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델은 다른 자동화 (Automation) 또는 프로세스 제어 (Process Control) 시스템과 연결되어 기존 프로세스에 완벽하게 통합되고 원활하게 구현할 수 있습니다. AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9200은 안전을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 장비에는 인라인 규정 준수 보드, 지상 결함 인터럽터, 자외선 경호원, 가연성 가스 탐지기, 배기 가스 송풍기 등 수많은 안전 기능이 있습니다. 이 기능은 운영자와 웨이퍼 (wafer) 및 장비의 안전성을 보장합니다. 전반적으로, AAT 9200은 다양한 반도체 제조 어플리케이션에서 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계된 뛰어난 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 기계는 생산성 향상, 안전 보장, 고품질 제품 제작을 위해 설계된 수많은 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 수동 또는 반자동 작업에 적합합니다.
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