판매용 중고 ASTEX AX 7685 #293642868

ASTEX AX 7685는 청소, 코팅, 반도체 제작과 같은 다양한 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최대 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 수용 할 수 있으며 플라즈마 에치 (plasma etch), 증착, 산화 및 젖은 노출 시스템을 포함한 다양한 프로세스 챔버와 작동하도록 설계되었습니다. AX 7685 는 탁월한 정밀도와 제어를 유지하면서 Wafer 를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 장치는 LTS (multi-zone linear transport machine), 플라즈마 에치 챔버, 홍수 챔버 및 공정 챔버의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. LTS는 공구를 통해 안전하고 안정적으로 웨이퍼 (wafer) 를 운송하여 교차 오염의 위험을 제거하도록 설계되었습니다. 플라즈마 에치 챔버 (plasma etch chamber) 는 플라즈마 기반 프로세싱과 관련된 더 높은 에치 레이트를 사용하여 에치 균일성을 향상시키고 피쳐 모서리를 줄입니다. 플러드 챔버 (flood chamber) 는 다양한 LED를 사용하여 웨이퍼의 일관된 프로세스 리소그래피를 보장합니다. 마지막으로, 공정 챔버 (process chamber) 는 온도, 압력 및 프로세스 레시피 제어를 가능하게하며, 사용자에게 웨이퍼 처리를 위한 최대 유연성을 제공합니다. ASTEX AX 7685는 웨이퍼가 최고의 품질로 일관되게 처리되도록 혁신적인 기능을 제공합니다. 에셋의 가용 공정 면적은 800 cm2이며, 정밀도는 ± 2.5õm이며, 사용자가 가장 높은 해상도와 정확도를 제공합니다. 또한, 이 모델은 웨이퍼 처리 중 공기 먼지 입자, 정전기, 진동과 같은 환경 오염의 영향을 줄이기 위해 설계되었습니다. 게다가, 최대한의 안전성과 정확성을 보장하기 위해 장비에는 와퍼 (Wafer) 수준의 프로세스 데이터 및 안전 경보 (Safety Alarm) 를 추적하는 종합적인 모니터링 시스템도 제공됩니다. AX 7685 는 최고 수준의 정확성과 정확성을 유지하면서 대용량 (high-volume) 운영 환경에서 작동하도록 설계된 강력하고 안정적인 wafer 처리 시스템입니다. 이 장치는 사용자 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 최대 수준의 유연성과 비용 효율성을 보장합니다 (영문). 대형 및 소형 웨이퍼를 모두 처리 할 수있는 ASTEX AX 7685 (ASTEX AX 7685) 는 웨이퍼 처리 능력을 높이고 웨이퍼 품질을 개선하려는 사람들에게 완벽한 선택입니다.