판매용 중고 AQUEOUS TECH Trident XLD #9258638

AQUEOUS TECH Trident XLD는 백엔드 반도체 제조 및 선택적 증착 응용을 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 즉, 처리량 극대화, 오염 위험 최소화, 프로세스 환경 관리를 위해 설계된 독보적인 기술 조합을 제공합니다. Trident XLD는 최고의 유연성과 확장성을 위해 설계된 고급 모듈식 (modular) 플랫폼을 기반으로 제작되었습니다. 플랫폼은 3 가지 주요 요소, 즉 웨이퍼 처리 시스템, 증착실 및 청소 하위 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Unit) 는 입력에서 출력 모듈로 웨이퍼를 안정적으로 전송하는 한편, 필요한 품질 수준으로 유지합니다. 증착실 (deposition chamber) 은 선택적 증착 응용을위한 정확하고 재생 가능한 열 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 클리닝 하위 시스템에는 저위험, 오염이없는, 플라즈마 기반 프로세스를 포함하여 입자를 청소하고 제거합니다. AQUEOUS TECH Trident XLD는 또한 고정 정밀도로 최대 8 개의 축을 제어 할 수있는 닫힌 루프 프로세스 제어 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 사용자에게 강력한 웨이퍼 처리 레시피 (wafer-processing recipe) 와 레시피 내에서 빠르게 매개변수를 수정할 수 있는 기능을 제공합니다. 닫힌 루프 프로세스 제어 에셋은 매우 정확한 레이어 두께 제어, 최적 레이어 균일성 (optimal layer unifority) 을 제공하며, 빠른 레시피 변경과 레시피 최적화를 지원합니다. 증착실 (deposition chamber) 은 웨이퍼 전체의 안정성과 온도 균일성을 높이기 위해 이중 챔버 배열로 설계되었습니다. 챔버는 직렬 양면 웨이퍼 스태킹 및 효율적인 확산 원자로 접근에 최적화되었습니다. 이 모델은 또한 공정을 효율적으로 식히고, 수확량을 향상시키고, 공구 수명을 연장하기 위해 물 재순환 장비를 갖추고 있습니다. 고급 기술 외에도 Trident XLD는 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 레시피 생성 및 선택을 쉽게 수행할 수 있습니다. GUI 는 포괄적인 장애 진단/수정 툴과 더불어 상세한 프로세스 정보를 제공합니다. 이 시스템은 운영자가 프로세스 레시피의 문제를 해결하고 최적화하여 공구 성능을 향상시키고 생산량을 높일 수 있도록 도와줍니다. AQUEOUS TECH Trident XLD는 백엔드 반도체 제조 및 선택적 증착 어플리케이션을 위해 강력하고, 강력하며, 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 고급 기능, 모듈식 플랫폼 (modular platform), 닫힌 루프 프로세스 제어 장치 (closed loop process control unit) 및 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 갖춘 이 시스템은 생산 프로세스를 최적화하려는 제조업체에 이상적인 선택입니다.