판매용 중고 AQUEOUS TECH SMT800 #9242474
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AQUEOUS TECH SMT800은 고급 웨이퍼 처리를 위해 설계된 장비입니다. 자동화된 재료 처리, 웨이퍼 분할 처리, 본더 제어, 레이저 다이빙 시스템, 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 을 위한 자동화된 모듈로 구성되며, 최대 800mm 직경의 웨이퍼 기판을 자동으로 처리합니다. 모듈은 Smart Process Computer Unit을 사용하여 작업을 모니터링합니다. 컴퓨터 시스템은 작업을 표시하고, 매개변수를 설정하고, 시스템을 제어할 수 있는 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 로 설정됩니다. 재료 처리 공정 은 원료 "트레이 '를 기계 에 적재 함 으로써 시작 된다. 트레이는 배치 당 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 그런 다음 웨이퍼는 메인 배달 스테이션 (main delivery station) 으로 옮겨져 처리 할 수 있습니다. SMT800 은 각 Wafer 주위에 원하는 패턴 링을 연결하기 위한 자동화된 본더를 갖추고 있습니다. "와퍼 '의 특정 한 부분 을 정밀성 을 가지고 선택적 으로 결합 시키는 본더 를" 프로그램' 할 수 있다. 본딩 프로세스가 완료되면, 기계는 웨이퍼를 레이저 다이빙 스테이션으로 이동합니다. 여기서, 고출력 레이저는 높은 정밀도로 웨이퍼에서 작은 부품을 절단하는 데 사용됩니다. 이 과정 에 이어 "웨이퍼 '청소 과정 을 거치면서" 레이저' 절단 의 잔류 를 제거 한다. 청소 된 "웨이퍼 '는 최종 검사 를 위해 용지함 으로 반환 된 다음, 기계 로부터 언로드 된다. AQUEOUS TECH SMT800은 고급 정렬 도구를 사용하여 공정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 자산은 고객의 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의됩니다. 자동화된 버전과는 별도로, SMT800 은 길고 복잡한 애플리케이션을 위해 수동으로 작동할 수도 있습니다. 이 모델은 안정성 향상, 주기 시간 단축, 다양한 웨이퍼 (wafer) 처리 어플리케이션을 위한 최적의 선택입니다.
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