판매용 중고 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9257098

ID: 9257098
빈티지: 2000
Batch cleaner 2000 vintage.
수성 기술 SMT600-LD는 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고급 장비입니다. 반도체 및 기타 웨이퍼 레벨 장치 제조업체에게 이상적인 선택입니다. SMT600-LD에는 고온 및 초고진공 어닐링, 산화물 및 질화물 증착, 에치 및 패턴, 이온 이온 이식 등 웨이퍼 레벨 처리에 대한 광범위한 기능이 있습니다. AQUEOUS TECH SMT600-LD에는 대용량 LCD 모니터와 자동화된 제어 시스템이 있어 프로세스를 빠르고 정확하게 설정할 수 있습니다. 이 장치에는 과열 (over-temper) 및 과압 (over-pressure) 경보와 같은 안전 기능이 내장되어 있으며 다른 프로세스 장비 및 컴퓨터와의 연결을위한 수많은 통신 포트가 있습니다. SMT600-LD에는 안정적인 웨이퍼 처리 결과를 보장하는 여러 가지 주목할만한 기능이 있습니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 크기 (wafer size) 와 처리 요구를 수용할 수 있으며, 다용도를 극대화하는 맞춤형 웨이퍼 테이블 (wafer table) 을 사용할 수 있습니다. 디지털 압력 컨트롤러 (Digital Pressure Controller) 및 진공 수준 표시기는 처리 매개변수에 대한 정확한 제어 및 모니터링을 제공합니다. AQUEOUS TECH SMT600-LD에는 고급 진공 공구가 장착되어 있으며, 10 ~ 8mbar의 초고진공 수준에 도달 할 수 있습니다. 이것은 산화 및 질화물 증착과 같은 높은 진공 조건이 필요한 과정을 허용합니다. 자산에는 열 공정을위한 많은 가열 된 공정 챔버가 있습니다. 가열 요소는 조절 가능하며, 다양한 열 공정 (thermal process) 에 대해 다른 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한 SMT600-LD에는 안전하고 정확한 웨이퍼 처링을 제공하는 정밀 기계식 척 (chucks) 과 정밀한 이동 및 포지셔닝을위한 매우 정확한 엔드 이펙터 (end effector) 가 있습니다. AQUEOUS TECH SMT600-LD 모델에는 웨이퍼 처리를 위해 자동 카세트-카세트 처리기가 장착되어 있습니다. 이 핸들러는 자동화된 카세트 로드 및 언로드, 자동 웨이퍼 방향 및 기판 정렬을 지원합니다. 전반적으로 SMT600-LD는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능, 다용도 장비입니다. 내장 안전 기능, 조정 가능한 프로세스 매개변수, 자동 처리, 초고성능 (ultra-high) 기능 등 다양한 장점이 있습니다. 이 시스템은 반도체 (semiconductor) 및 기타 웨이퍼 스케일 (wafer-scale) 장치 제작 환경에서 실행되는 연구와 생산에 이상적인 선택입니다.
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