판매용 중고 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9220569

AQUEOUS TECH SMT600-LD는 서브미크론 리소그래피, 도량형, 플라즈마, etch, 청소 및 표면 준비 프로세스를 포함한 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. SMT600-LD 시리즈 시스템은 개방형 아키텍처 플랫폼 (Open Architecture Platform) 을 갖추고 있어 뛰어난 유연성과 간편한 시스템 업그레이드를 지원합니다. 컴퓨터 제어 장치 (computer-controlled unit) 는 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 가능하게 하며 샘플 준비 중에 재생성 가능한 결과를 보장합니다. AQUEOUS TECH SMT600-LD 시리즈는 다양한 옵션을 갖춘 자체 포함 모듈식 머신으로, 다양한 프로세스 요구 사항에 적응할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 필요에 맞게 도구를 사용자 정의하고 손쉽게 확장할 수 있습니다 (영문). 여기에는 웨이퍼 척 (wafer chuck), 높은 정확도의 레이저 측정 자산, 트윈 튜브 플라즈마 에칭 모델 및 유체 조작을위한 펌프가 포함 된 처리 영역이 포함됩니다. 모든 부품 은 "스테인레스 '" 스틸' 작업 "테이블 '에 장착 되어 있으며, 온갖 형태 의 부식성 화학 물질 에 저항 하여 믿을 만한 작업 공간 을 제공 하도록 설계 되었다. SMT600-LD 시리즈는 고성능 마이크로 프로세서 기반 제어 장비로 구동됩니다. 이 시스템에는 사용자 친화적 인 고급 소프트웨어 (advanced software) 가 포함되어 있으며, 특정 요구에 맞게 프로그래밍을 사용자 정의할 수 있습니다. 직관적인 인터페이스는 장치 진단, 데이터 로깅 등 다양한 기능을 제공합니다. AQUEOUS TECH SMT600-LD 시리즈는 다양한 모션 제어 설정을 갖춘 고정밀 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 크기에 대해 최대 20 도의 운동 자유 (freedom of motion) 로 작동 할 수 있습니다. 동작 제어 도구는 고해상도 추적 및 샘플 위치 및 방향을 제어합니다. 고정밀 전자 장치는 고급 온도 조절 및 통합 프로세스 타이밍 기능을 제공합니다. SMT600-LD의 온도 안정성은 사전 선택된 세트 포인트 (set point) 의 +/- 1 'C로 보장되며, 통합 프로세스 타이밍은 증착, etch 및 clean 프로세스의 적절하고 빠른 타이밍을 보장합니다. SMT 600-LD 시리즈는 고급 연구 애플리케이션에 이상적인 고급 기능과 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스, 정밀 제어 시스템, 모듈식 설계를 통해 다양한 반도체 처리 기술을 연구하는 데 이상적인 툴이 되었습니다. 견고한 건축은 안정적인 운영을 보장하고, 직관적인 설계를 통해 사용자는 신속하게 운영을 마스터할 수 있습니다.