판매용 중고 AQUEOUS TECH SMT1000-DUO #9084794

ID: 9084794
빈티지: 2007
Batch cleaner, 2007 vintage.
수성 기술 SMT1000-DUO (AQUEOUS TECH SMT1000-DUO) 는 다양한 산업 응용 프로그램의 기판을 효율적으로 생산하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 고급 (Advanced) 프로세스 제어를 위해 특별히 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 최적의 결과를 위해 장치를 효율적으로 프로그래밍할 수 있습니다. SMT1000-DUO에는 두 개의 다른 프로세스 챔버가 있으며, 사용자가 효율적인 기판 처리 기능을 제공합니다. AQUEOUS TECH SMT1000-DUO는 불화 수소 (HF) 및 황산 (H2SO4) 젖은 처리실을 모두 통합하여 사용자가 다양한 기판을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 2 개의 습식 처리 챔버 (wet processing chamber) 는 최적의 제어를 위해 설계되었으며, 따라서 민감하고 복잡한 기판 처리에 탁월한 정밀도를 보장합니다. 또한, 이 기계는 통합 도금 챔버 및 고급, 컴퓨터 제어 자동 시작 프로세스를 갖추고 있습니다. 도금 챔버에는 전기 화학 센서, 진공 펌프, 음이온 교환 수지, 국소 산의 최적화 된 농도 및 프로필렌 글리콜 (propylene glycol) 과 같은 다른 물질을 포함한 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 최적화는 최적의 기질 강착 및 표면 처리를 가능하게합니다. 또한 SMT1000-DUO 는 고급 냉각수 (coolant) 툴을 통해 처리 중에 온도를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 자산은 최소 온도 -45 ° C 및 최대 온도 300 ° C를 위해 설계되었습니다. 이 정확한 제어는 완성 된 기판의 일관되고 최적의 품질을 보장합니다. 또한이 모델에는 통합 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 과 광범위한 XYZ 스테이지 제어 장비가 제공됩니다. XYZ 스테이지 컨트롤 시스템 (XYZ Stage Control System) 은 기판의 정확한 조작을 제공하기 위해 설계되었으며, 웨이퍼 트랜스퍼 암 (Wafer Transfer Arm) 은 사용자가 챔버와 스테이지 사이의 기판을 빠른 속도로 운송 할 수 있습니다. AQUEOUS TECH SMT1000-DUO는 효율적이고 사용자 친화적으로 설계된 고급 자동 웨이퍼 처리 장치입니다. 가장 이상적인 결과를 얻기 위해 기판의 정확한 모니터링 (monitoring) 및 조작 (manipulation) 이 가능합니다. 따라서, 산업 응용 분야를위한 기판 생산에 이상적인 기계입니다.
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