판매용 중고 AQUEOUS TECH SMT-600LD #9253137
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AQUEOUS TECH SMT-600LD는 다른 웨이퍼 처리 업계의 습식 프로세스 어플리케이션을 위한 빠르고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 초저비용 (Ultra-Lost) 과 고효율 (High Efficiency) 을 고려하여 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 크기, 두께, 자재 등에서 최소 인건비 및 뛰어난 성능으로 시스템 성능을 극대화합니다. 이 장치 의 주된 용도 는 습식 공정 전 에 "레지스트 코우팅 '을 적용 하여" 웨이퍼' 를 처리 하는 것 이다. SMT-600LD (Modular Design Platform) 는 다른 웨이퍼 프로세싱의 각 프로세스 단계에 대해 별도의 모듈을 갖춘 모듈식 설계 플랫폼으로 구성됩니다. 여기에는 웨이퍼를 각 모듈로 전송하는 컨베이어 벨트, 고속 스프레이 배치 및 댐핑 프로세스 조합, 예열, 2 단계 냉각, 액체 수준 제어를위한 완전 자동화 기계 (fully automated machine) 가 포함됩니다. 습식 공정 공구는 고압, 다방향 스프레이 및 디핑 메커니즘의 조합을 사용하여 원하는 저항 코팅 (resist coating) 을 달성합니다. 공정의 스프레이 (spray) 단계는 외부 및 내부 결함으로부터 짝수 코팅 (coating) 을 보장하고 보호하며, 딥 (dip) 공정은 웨이퍼 표면에서 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 전열 모듈은 처리 전에 웨이퍼가 정확한 온도에 도달 할 수있는 반면, 2 단계 냉각 모듈은 크래킹을 피하기 위해 균일 한 냉각 (cooling) 을 보장합니다. 다른 웨이퍼 (wafer) 처리 자산에는 범위나 진동이 있는 환경에서도 일관된 액체 수준을 유지하는 데 도움이 되는 통합되고 정교한 액체 레벨 (liquid level) 제어 모델이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 액체 가 균등 하게 분포 되고 "웨이퍼 '표면 의 손상 을 피할 수 있다. 수성 기술 SMT-600LD (AQUEOUS TECH SMT-600LD) 를 사용하면 다양한 유형의 레시피와 자동화된 매개변수 조정을 포함하여 프로세스 매개변수를 최대한으로 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스 (GUI) 가 포함되어 있어 운영 및 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 탁월한 성능 외에도 SMT-600LD는 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다. 여기에는 응급 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 수위 및 온도 경보, 작동 중 장애를 감지하는 다양한 센서 회로 (Sensor Circuit) 와 같은 기능이 포함됩니다. 전반적으로 AQUEOUS TECH SMT-600LD는 다른 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 시스템입니다. 이 장치는 탁월한 성능, 최소한의 인력, 사용자 정의 가능한 프로세스 매개변수를 제공하여 고른 (even) 코트로 최고 품질의 웨이퍼를 보장합니다.
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