판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 7 #9165986

AQUEOUS TECH AQ 7은 반도체 업계의 고정밀, 고수율 프로세싱 요구를 충족시키기 위해 설계된 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 300mm 웨이퍼를 지원하며 24 시간 안에 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 1 미크론 이하의 정확도를 달성 할 수 있습니다. AQ 7 은 소프트웨어 및 하드웨어 기능이 통합된 완전 자동화 장치 (Fully Automated Unit) 로서 다양한 Wafer 프로세스를 신속하고 안정적으로 처리합니다. 습식 (wet) 프로세스와 건식 (dry) 프로세스를 결합하여 다양한 프로세스 작업을 효율적이고 반복적으로 실행할 수 있습니다. AQUEOUS TECH AQ 7에는 습식 및 건식 공정을 모두 처리 할 수있는 Process Module이 포함되어 있습니다. 에칭 머신 (etching machine) 은 화학/플라즈마 에칭을 사용하여 표면을 에치 및 형성하고, 등각 코팅 및 박막 증착을위한 증기 상 증착 도구를 포함합니다. AQ 7에는 스핀 린스 드라이어 (Spin Rinse Dryer) 도 있으며, 이는 웨이퍼를 울리고 건조하는 데 사용됩니다. 원하는 웨이퍼 프로세스에 대한 정확한 환경 조건을 제공하기 위해 Mass Flow Controller와 Vacuum Chiller가 포함되어 있습니다. AQUEOUS TECH AQ 7에는 최첨단 AQ 8 모니터링 자산도 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 전체 처리 모델을 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 모니터링 장비에는 온라인 프로세스 레시피 (recipe) 와 레시피 관리 (recipe management) 기능이 포함되어 있어 프로세스 매개변수가 항상 최고 수준의 정확도로 유지되도록 합니다. 안전하고, 안정적이며, 반복 가능한 웨이퍼 처리를 위해 AQ 7에는 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 시스템 자체 진단 기능 (System Self Diagnostics Feature) 이 포함되어 있어 장치 작동 중 비정상적인 상태를 쉽게 확인할 수 있습니다. 냉각기 안전 장치 (ciller safety machine) 를 내장하면 냉각기의 온도가 정해진 포인트 온도를 초과하지 않습니다. 이 툴에는 임베디드 안전 자산 (Embedded Safety Asset) 과 CE 및 ATEX 등의 여러 인증이 포함되어 있어 위험 환경에서 안전성과 성능을 보장합니다. 마지막으로 AQUEOUS TECH AQ 7은 광범위한 작동 모드 (습식, 건조 또는 둘 다) 를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 다른 프로덕션 실행 (production run) 이나 프로덕션 라인 (production line) 에서 발생할 수 있는 조건과 같이 다른 조건에 쉽게 적응할 수 있습니다. 또한 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 와 리포팅 (Reporting) 기능이 포함되어 있어 모델 사용 중 진행 상황을 쉽게 모니터링하고 추적할 수 있습니다. 전반적으로, AQ 7은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 최상위 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 어플리케이션에서 높은 정확도, 높은 처리량, 신뢰할 수 있는 작동을 제공합니다. 또한 사용자 안전 (User Safety) 을 강화하기 위해 여러 가지 안전 기능을 제공하며 위험 환경에서 사용할 수 있도록 인증되었습니다.