판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 400 #9352516

ID: 9352516
Batch washer.
AQUEOUS TECH AQ 400은 고성능 반도체 볼륨 생산을 위해 설계된 종합 웨이퍼 처리 장비입니다. AQUEOUS TECH AQ-400 웨이퍼 처리 시스템은 다양하고 사용하기 쉬운 작은 설치 공간에서 최대의 유연성을 제공합니다. 단일 웨이퍼 프로세싱을위한 올인원 (All-in-One) 솔루션으로, 직경이 최대 100mm (4 ") 인 다양한 실리콘 및 기타 특수 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. AQ 400 유닛의 중심에는 로봇 암 (robotic arm) 이 있으며, 직경이 최대 4 인치 인 웨이퍼와 재료를 처리 할 수 있습니다. 더 우월 한 정확도 와 빠른 속도 로, 팔 은 "웨이퍼 '를 적재 하는 것 으로부터 하역 하는 것 까지의 정확 한 처리 를 보장 한다. 이렇게 하면 안전하고 안정적인 환경에서 효율적인 처리가 가능합니다. AQ-400 에는 웨이퍼 처리를 간소화하는 비전 머신 (vision machine) 도 내장되어 있습니다. 이 도구는 etching, cleaning, stripping, lithography to CMP 및 annealing에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 수용하도록 설계되었습니다. AQUEOUS TECH AQ 400에는 인원과 장비의 안전을 보장하기 위해 고급 안전 기능이 있습니다. 고온 프로세스 중 우발적 웨이퍼 노출을 방지하기 위해 내장 안전 인터 록크 (Safety Interlock) 자산 및 안전 차단 메커니즘이 특징입니다. 또한 AQUEOUS TECH AQ-400은 프로세스 온도를 실시간으로 모니터링합니다. 이를 통해 제어가 향상되고 결과가 정확해집니다. 통일되고 반복 가능한 처리를 보장하기 위해 AQ 400은 다양한 프로세스 매개 변수를 처리하도록 프로그래밍됩니다. 여기에는 가스 흐름, 온도, 압력, 시간, 웨이퍼 스테이지 거리 및 로봇 팔의 행동과 같은 세트 포인트가 포함됩니다. 내장 시퀀싱 모델을 사용하면 웨이퍼를 부드럽고 일관되게 처리할 수 있습니다. 또한 AQ-400 은 원격 제어 인터페이스 (Remote Control Interface) 를 통해 원격 위치에서 장비를 액세스하고 모니터링할 수 있으며, 시간 및 자원을 절약할 수 있습니다. 편리성과 사용자 유연성을 위해 AQUEOUS TECH AQ 400에는 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 데이터를 쉽게 입력하고 검색할 수 있습니다. 또한 AQUEOUS TECH AQ-400 (AQUEOUS TECH AQ-400) 은 시스템 운영 및 유지 보수가 가능한 맞춤형 프로그램 형태로 강력한 소프트웨어 지원을 제공합니다. 전반적으로 AQ 400 웨이퍼 처리 장치는 대용량 반도체 처리에 이상적인 선택입니다. 다양한 기능, 강력한 소프트웨어 지원, 신뢰할 수 있는 정확성, 고품질, 결함이 없는 웨이퍼를 부드럽고 경제적으로 생산할 수 있습니다.
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