판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985

AQUEOUS TECH AQ 300은 반도체 산업의 연구원 및 엔지니어를 위해 특별히 설계된 고급 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 폐쇄된 환경에서 현장 및 신속한 열 처리를 위해 설계되었습니다. AQ 300은 다양한 증착 프로세스, 웨이퍼 클리닝 및 저항 코팅을위한 다재다능한 솔루션을 제공합니다. AQUEOUS TECH AQ 300은 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 최대 챔버 온도는 1100 ° C입니다. 정리 및 청소 응용 분야의 경우 AQ 300에는 질소, 산소, 아르곤, 수소, 헬륨 및 제논을 제공 할 수있는 6 가스 혼합 장치가 있습니다. 증착 응용의 경우, 기계에는 비정질 탄소, 나이오륨, 질화 티타늄, 질화 알루미늄, 질화 실리콘과 같은 다양한 재료의 성장에 대한 다재다능한 하드웨어가 포함됩니다. AQUEOUS TECH AQ 300은 온도, 속도 및 기타 프로세스 제어 정확도에 대한 MACThermalX, MACThermalComerManager, MACThermalTR 및 MACThermalSC를 포함한 여러 소프트웨어 플랫폼과 호환됩니다. 이 장치에는 3 개의 독립적 인 프로세스 챔버가 있습니다. 증착을위한 상실, 퇴화 및 청소를위한 하실, 웨이퍼 처킹을위한 독립적 인 샘플 챔버 (sample chamber). 각 챔버에는 고정밀 쿼츠 셔터 밸브와 압력 센서가 장착되어 10 ^ -2 ~ 10 ^ -5 torr의 압력을 모니터링합니다. 향상된 플랜트 및 프로세스 자동화를 위해 AQ 300 은 디지털 프로세스 컨트롤러, 자동화 컨트롤러, 안전 시스템과 통합됩니다. 온도, 압력, 가스 함량, 시간 등 프로세스 매개변수를 모니터링하기 위한 다양한 임베디드 센서와 제어 시스템 (Control System) 을 자랑합니다. 또한 품질 보증을 유지하기 위해 내장 된 TDLAS 도구를 제공합니다. AQUEOUS TECH AQ 300은 반도체 산업의 정교한 프로세스를 위해 특별히 설계된 다재다능한 완전한 자산입니다. 반도체 (semiconductor) 업계의 연구자와 엔지니어를 위해 특별히 설계되었으며, 최신 기술을 활용하여 신속한 열 처리 및 프로세스 제어 (process control) 정확성을 제공합니다. 하이엔드 모델은 자동화 및 안전 향상을 위해 업계 표준 고급 기술을 제공합니다.