판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741

AQUEOUS TECH AQ 201SC는 SoC (System-on-Chip) 장치, 논리 장치 및 이기종 장치와 같은 복잡한 반도체 장치의 대규모 생산을 위해 설계된 최첨단 기타 웨이퍼 처리 장비입니다. AQ 201SC는 다양한 웨이퍼 크기에 대한 다양한 프로세스를 수행 할 수있는 완전 자동화 된 단일 웨이퍼 (single-wafer) 장치입니다. 또한 Gallium Arsenide (GaAs) 및 Silicon on Insulator (SOI) 를 포함한 다양한 기판 유형을 수용 할 수 있습니다. 이 기계의 핵심 구성 요소는 습식 처리 모듈 (wet processing module), 건식 처리 모듈 (dry processing module), 클린 룸 모듈 (cleanroom module) 및 로드 영역으로 구성됩니다. 습식 처리 모듈은 퇴화, 산화 및 에칭, 확산, 습식 청소, 화학 청소 등 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 건조 처리 모듈은 화학 기계 연마 (CMP) 및 기타 건식 화학 공정을 수행 할 수 있습니다. 4 단계 클린 룸 모듈은 HEPA 여과를 사용하여 생산 표준을 유지하며 습식 (wet) 및 건식 (dry processing) 을위한 고급 화학 레시피 관리 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 최소한의 프로세스 연산자 개입으로 레시피를 신속하게 최적화 할 수 있습니다. 또한, 자동화된 재료 로딩 자산을 사용하면 안전하고 정확한 재료 처리가 가능합니다. AQUEOUS TECH AQ 201SC에는 Process Analyzer 및 Model Monitor와 같은 고급 시각화 및 데이터 획득 도구가 있습니다. 사용자는 이러한 툴을 통해 장비의 성능을 실시간으로 추적, 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 즉시 프로세스 최적화, 문제 해결을 수행할 수 있습니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기에 대한 다양한 처리 요구를 충족하기 위해, 시스템에는 교환 가능한 프로세스 프레임, 척 (chuck), 다양한 프로세스 챔버 (process chamber) 와 같은 다양한 액세서리가 포함됩니다. 또한 AQ 201SC를 사용자 정의하여 photolithography 시스템, CMP 시스템 및 RTP 시스템과 같은 다른 프로덕션 시스템과 통합 할 수 있습니다. 마지막으로, AQUEOUS TECH AQ 201SC는 에너지 효율적이며 최고의 업계 표준 및 환경 규정을 충족합니다. 이는 대용량 생산 및 최신 반도체 응용프로그램의 까다로운 요구를 충족시키는 완벽한 솔루션입니다. & # 160;