판매용 중고 APL ADS-200 #9280974

APL ADS-200 (APL ADS-200) 은 예술 연구 시설 및 실험실 상태에 사용되는 에피 택시 증착을위한 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 설계를 통해 높은 생산성과 재현 가능한 결과를 정확하게 제어할 수 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소는 증착실, 핫 플레이트, 펌프 및 배기, 웨이퍼 운송 메커니즘입니다. 약실 에는 가열 된 가장자리 장치 (heated edge unit) 와 증착률 을 정확 하게 제어 하는 장치 가 장착 되어 있다. 가열기는 두껍고 얇은 웨이퍼에 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 약실 의 온도 는 넓은 범위 에 걸쳐 조절 될 수 있는데, 이것 은 증착 하는 물질 의 성질 을 정확 하게 조정 할 수 있게 해 준다. "깨어라!" ( 배기 도구는 최대 효율성과 최소 입자 생성을 위해 설계되었습니다. 핫 플레이트는 조절 가능한 온도 범위를 특징으로하며, 에피 택시 증착을위한 균일 한 기판을 준비 할 수 있습니다. 증착 후 열 처리 또는 박막 테이프 준비에도 사용할 수 있습니다. 웨이퍼 전송 자산을 사용하면 챔버에 웨이퍼를 자동으로 로드할 수 있습니다. 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 한 번에 최대 50 개의 웨이퍼를 보관할 수 있습니다. 이 모델은 사용하기 쉽고, 컨트롤러와 소프트웨어를 사용하여 자동화할 수 있습니다. 컨트롤러는 수동 및 자동 작업을 모두 지원합니다. 수동 모드에서는 증착율, 온도, 두께 등의 매개변수를 직접 설정할 수 있습니다. 자동 모드에서는 최대 8 개의 다른 화합물 및 요소 증착 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '에 적용 할 계획 인" 필름' 의 특성 을 미리 알 수 있다. ADS-200 (ADS-200) 은 다양한 연구/실험실 환경에서 성능을 극대화할 수 있도록 설계된 안정성이 뛰어나고 견고한 장비입니다. 광범위한 요인에 비해 탁월한 제어와 정밀도를 자랑하는 '고급 웨이퍼 (wafer) 처리 (processing)' 도구다.