판매용 중고 AMERICAN METAL WASH EV100 / EV100-R #9233519

AMERICAN METAL WASH EV100 및 EV100-R은 다양한 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 장비 는 화학공정 과 열공정 의 결합 을 이용 하여 원하는 재료 를 "웨이퍼 '표면 에 청소 하고, 식각 하고, 퇴적 시킨다. "와퍼 '를 빠르고 정확 하게 배치 하고 제거 하는 데 도움 이 되는 고급" 로봇' 장치 가 갖추어져 있는 반면, 공정 의 모든 "로우퍼 '들 은 온전 한 범위 의" 로우프' 를 사용 하여 공정 의 모든 요소 를 조정 할 수 있다. 단위의 첫 번째 구성 요소는 화학 과정입니다. 여기에는 독점적 인 구리베이스 (copper-base) 욕조로 웨이퍼를 치료하는 것이 포함되며, 이는 원치 않는 오염 물질을 제거하고 최대 25U 산화없는 표면 마무리를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 기계는 또한 표면 청소를 향상시키기 위해 이진 청소가 가능합니다. EV100-R 도구는 로봇 지원 프로세스를 사용하여 수작업을 줄이고 효율성을 향상시킵니다. 에셋의 두 번째 구성 요소는 열 프로세스입니다. 이것은 특별히 설계된 진공 모델을 사용하여 웨이퍼 처리 동안 정확한 열 제어를 제공합니다. 이 장비에는 온도 모니터 (Temperature Monitor) 및 가스 유량 조정 (Gas Flow Rate Adjustment) 기능이 장착되어 있어 제어 및 일관성 있는 환경을 보장합니다. 또한, 이 시스템은 활성 냉각 기능을 제공하여 웨이퍼의 열 손상을 방지합니다. 장치의 세 번째 구성 요소는 옵션 증착 능력입니다. 이것은 고급 마스크 증착 기술을 사용하여 웨이퍼 표면에 다양한 재료를 배치합니다. 재료에는 다이아몬드, 질화 갈륨 및 질화 티타늄이 포함될 수 있습니다. 이 기능은 사용자가 웨이퍼 (wafer) 의 속성을 사용자 정의하고 향상시킬 수 있도록 하여 시스템에 추가 기능을 제공합니다. AMERICAN METAL WASH EV100 및 EV100-R은 고품질 구성 요소를 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 도구에는 원하는 재료를 웨이퍼 서피스에 클리닝, 에치, 배치하는 데 필요한 모든 컴포넌트가 포함됩니다. 통합 고급 로봇 (Advanced Robotics), 온도 및 가스 흐름 속도 (Gas Flow Rate) 제어를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 옵션 증착 기능은 자산의 응용 프로그램을 더욱 확장합니다.