판매용 중고 AKT / MKS Astron HF #293608418
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AKT/MKS Astron HF는 고정밀 장치 생산에 사용되는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 양면 웨이퍼를 위해 특별히 설계되었으며, 매우 정확하고 빠른 건조 공정을 제공합니다. AKT Astron HF에는 듀얼 레이저 웨이퍼 (dual-laser wafer) 정렬 장치가 장착되어 있으며, 처리 전에 웨이퍼의 양쪽을 정확하게 중심 할 수 있습니다. 즉, 운영 프로세스 전반에 걸쳐 디바이스의 정밀도가 유지됩니다. 또한, 기계에는 온보드 프로세스 컨트롤러 (on-board process controller) 가 장착되어 있어 프로세스의 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 여기에는 오븐 온도, 공기 흐름, 압력 및 건조 시간이 포함됩니다. 웨이퍼 에칭을 위해 MKS Astron HF에는 고급 에칭 시스템도 포함되어 있습니다. 이것 은 자외선 "레이저 '를 사용 하여" 웨이퍼' 를 정확 한 "패턴 '이나" 디자인' 으로 정확 하게 식각 시킨다. 이 에칭은 정확하고 정확한 에칭은 매우 정확한 장치를 형성하는 데 필수적입니다. 또한, 에칭 단위를 다양한 에치 패턴을 만들기 위해 깊이, 각도, 속도 등 다른 조건 (예: 깊이, 각도, 속도) 으로 조정할 수 있습니다. 아스트론 HF (Astron HF) 는 또한 매우 깨끗한 부품을 생산할 수있는 통합 클린 룸 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 필터 에셋 (filter asset) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 도달 할 수있는 입자의 양을 줄이며, 이로 인해 웨이퍼 (wafer) 표면에 오염 물질이 전달되지 않습니다. 게다가, 전체 "모델 '은 오염 을 감소 시키고 전체 생산 과정 을 깨끗 하고 효율적 으로 유지 하도록 설계 되었다. 마지막으로, 이 장비는 고도의 고급 자동화 시스템 (Automation System) 을 갖추고 있어 고도의 정밀 장치를 빠르고 정확하게 생산할 수 있습니다. 이 자동화 장치 (Automation Unit) 는 다양한 운영 요구를 충족시키기 위해 완벽하게 사용자 정의할 수 있으며, 여러 작업을 동시에 실행하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 AKT/MKS Astron HF는 고밀도 장치를 생산하도록 설계된 고급형 웨이퍼 처리 기계입니다. 매우 정확하고 빠른 건조 공정을 제공하며, 듀얼 레이저 웨이퍼 (dual-laser wafer aligner) 가 장착되어 있으며, 웨이퍼에 낮은 수준의 오염 물질을 보장하는 통합 클린 룸 (clean room) 도구가 있습니다. 또한, 자산에는 고도의 자동 모델 (automation model) 이 장착되어 있어 생산의 빠른 속도와 정확성을 제공합니다.
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