판매용 중고 AKT / MKS Astron HF #293608394

AKT/MKS Astron HF는 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 다기능 솔루션은 고급 기술 (Advanced Technologies) 과 단순한 운영 (Simple Operation) 의 독특한 조합을 제공하여 반도체 장치 제조 공정에서 최고의 정밀도와 품질을 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 석판화 장치 인 AgileMask (TM) 석판화 스테이션 (Lithography Station) 으로 구동되며, 차세대 반도체 장치 제조를위한 고정밀 웨이퍼를 생산하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구는 특허 출원 중인 스캔 거울 (scan mirror) 과 함께 1 단계 공중 영상 기계를 사용하여 최대 2 미크론의 해상도로 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 에셋은 높은 처리량과 고해상도 스캐닝 (scanning) 기능을 갖춘 ASML 스캐너 (scanner) 를 통해 효율이 높고 안정성이 뛰어난 생산성을 제공합니다. AKT Astron HF는 또한 최고급 전자 빔 및 코팅 모델을 포함하며, 초미세 곡물 웨이퍼 표면 및 고해상도 필름 증착을 생성 할 수 있습니다. 이 장비는 이중 전자 빔 시스템 (dual-electron-beam system) 을 사용하여 매우 빠른 전자 빔 가속 및 감속뿐만 아니라 고정밀 패턴화 및 코팅을 보장합니다. OPPS (Optical Periodic Polishing Unit) 와 함께 사용되는이 기계는 미크론 이하의 해상도로 매우 균일하고 결함이없는 패턴을 만들 수 있습니다. MKS Astron HF (Astron HF) 는 핵심 처리 기능 외에도 다양한 자동화 기능과 고급 소프트웨어 기능을 갖추고 있습니다. 또한 전용 Wafer Debriefing 소프트웨어를 통해 전체 처리 주기 (Processing Cycle) 를 간편하게 모니터링, 보고하여 운영 라인의 성능을 최적화할 수 있습니다. 또한 이 도구는 처리량을 최대화하기 위해 운영 매개변수를 자동으로 조정하는 통합 자동 (Autotuning) 에셋을 제공합니다. 마지막으로, 이 모델은 원격 액세스 (Remote Access) 및 데이터 관리 (Data Management) 및 원격 제어 출력 (Remote Control Output) 을 지원하는 통합 컨트롤러에서 지원됩니다. 전반적으로 Astron HF는 고급 기술과 손쉬운 작동을 결합한 강력하고 정교한 웨이퍼 (wafer) 처리 장비를 제공합니다. 사용자는 이 시스템을 활용하여 반도체 생산 공정에서 가장 높은 정확도, 품질, 처리량을 달성할 수 있습니다 (영문).