판매용 중고 AIWA AU-90CO #9086459

AIWA AU-90CO는 반도체 업계를 위한 고품질, 비용 효율적인 웨이퍼 제조 및 처리 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 "Wafer 처리 장비 (Other Wafer Processing Equipment) '입니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 구성으로 제작되어 맞춤형 운영 라인에서 손쉽게 통합하고 높은 구성성을 제공합니다. 이 장치의 주요 구성 요소는 4축 모듈식 공구 체인저 (Modular Tool Changer) 로, AIWA 제품군의 다양한 단일/다중 패스 처리 도구를 사용하여 구성할 수 있습니다. 이를 통해 습식 및 건식 에칭, 질화물 증착, 열 아닐링 및 스퍼터 코팅과 같은 다양한 기능의 조합이 가능합니다. 기계 내의 다른 주요 구성 요소는 카세트 전송 (Cassette Transport) 으로, 순차적 패스 처리를 위해 웨이퍼 카세트를 상향 조정하고 전달합니다. 이 도구는 처리량 향상, 정확도 향상, 폐수 감소를 위해 설계되었습니다. 0.1um 해상도의 서보 기반 제어 자산 (Servo-based control asset) 을 통해 프로세스 공구 및 웨이퍼를 정확하게 정렬하여 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 구성 가능한 입/출력 시스템으로 물과 에너지 소비를 최소화하며, 인력, 장비, 제품의 보호를 위해 여러 가지 고급 안전 장치 (Advanced Safety Mechanism) 를 갖추고 있습니다. 정확한 프로세스 결과를 위해 통합 사용자 친화적 그래픽 인터페이스를 통해 모델을 조작할 수 있습니다. 이 인터페이스는 기판 온도, 가스 압력, 습도와 같은 여러 사용자 정의 매개변수를 활성화합니다. 이를 통해 프로세스 레시피를 손쉽게 채택할 수 있으며, 프로세스 제어를 용이하게 할 수 있도록 툴과 기판을 실시간으로 볼 수 있습니다 (영문). 인상적인 기능을 고려할 때, AU-90CO는 다양한 웨이퍼 제조 작업에 적합한 선택입니다. 비용 효율성, 정확성, 안전성을 결합하면 모든 반도체 생산자에게 귀중한 자산이 됩니다. AIWA AU-90CO 는 모듈식 구성, 기존 운영 라인에 손쉽게 통합할 수 있고, 프로세스 툴의 구성성이 뛰어나므로, 웨이퍼 (wafer) 처리 요구 사항을 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션이 될 것입니다.