판매용 중고 AIWA AU-501CO #9261216

AIWA AU-501CO (AIWA AU-501CO) 는 고급 반도체 장치 제작의 요구 사항을 충족하도록 설계된 다용도 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 독특한 모듈 식 디자인을 사용하여 AU-501CO는 에칭, 스퍼터링, 증착, 산화, 사진 식자술 및 포토레시스트 스트리핑을 포함한 광범위한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 PEC (Proximity Effects Correction), EI (Edge Isolation), PIC (Particle Interference Containment) 및 DP (Diffusion Prevention) 와 같은 다양한 보조 프로세스에 사용할 수 있습니다. AIWA AU-501CO (AIWA AU-501CO) 는 고정밀 코어 엔진을 사용하며, 최소 웨이퍼 크기가 4 인치인 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 고정밀 코어 엔진은 ± 2um의 반복 성과 ± 1 ° 의 회전 정확도로 정확한 웨이퍼-투-웨이퍼 이동을 허용합니다. 이 장치는 또한 광범위한 프로그래밍 가능한 프로세스 매개 변수를 제공하여 기계를 완전히 자동화 (fully automated) 할 수 있습니다. AU-501CO에는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 포함되어 있어 프로세스의 고급 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 핵심은 APCMS (Automated Process Control and Monitoring Tool) 로, 웨이퍼 로드 진단, 프로세스 시퀀스 설정, 경고 및 모니터링, 장애 감지 및 격리 등의 다양한 기능을 제공합니다. 이 자산은 또한 강력한 데이터 획득 및 프로세스 분석 모델을 갖추고 있으며, 이 모델은 최대 4GB 의 디바이스 데이터를 저장할 수 있습니다. AIWA AU-501CO (AIWA AU-501CO) 는 다양한 사용자 친화적 기능을 제공하며, 여기에는 프로세스 시퀀스 데이터를 시각적으로 확인할 수 있는 그래픽 사용자 인터페이스가 포함됩니다. 이 장비에는 자동 STOP (Stop-at-Error) 기능도 포함되어 있어 프로세스 장애 시 신속한 복구를 지원합니다. 또한 레시피 대체 경보 (Recipe Substitute Alarm) 기능을 사용할 수 있으므로 전체 시스템을 재설정하지 않고도 컴포넌트를 쉽게 대체할 수 있습니다. 전반적으로, AU-501CO (AU-501CO) 는 고급 반도체 장치 제조의 가장 까다로운 요구 사항을 충족 할 수있는, 고급적이고 안정적인 반도체 장치 처리 장치입니다. 이 시스템은 모듈식 설계 (modular design) 를 활용하여 효율적이고 정밀한 프로세스 제어 및 모니터링을 가능하게 하며, 다양한 사용자 친화적 기능을 통해 비전문가 사용자에게도 쉽게 사용할 수 있습니다.