판매용 중고 AIT VRS-150 #293648374

AIT VRS-150은 서브 미크론 정밀도로 대용량 프로젝트를 위해 설계된 고급 다른 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 직경 이 150mm 인" 웨이퍼' 를 처리 하도록 설계 되었으며 "실리콘 '과 유기물 을 포함 한 여러 가지 재료 를 처리 할 수 있다. 이 장치는 다중 축 로봇 포지셔닝 기계를 사용하며, 이는 총 45mm x 45mm x 10mm 범위에서 XYZ 포지셔닝 정확도 ± 1.5jm을 제공합니다. 이렇게 하면 각 웨이퍼의 정확한 배치가 보장되고 처리 결과가 일관되게 유지됩니다. 이 도구에는 통합 된 비전 에셋 (vision asset) 이 포함되어 있으며, 작은 기하학적 기능을 감지하고 찾을 수 있습니다. 이를 통해 높은 정확도와 초고속 속도 처리가 가능합니다. 또한, 이 모델은 다른 웨이퍼 처리 시스템과 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. VRS-150은 미세한 시스템 구성 요소를 활용하여 강력하고 안정적인 성능을 보장합니다. 장비는 두 가지 주요 섹션으로 구성됩니다. 첫 번째 섹션은 주 프로버로, 자동 웨이퍼 처리 및 배치를 위해 설계되었습니다. 이 섹션에는 웨이퍼 로드 및 언로드 지원을 위한 진공 회선이 있습니다. 두 번째 부분은 웨이퍼가 청소, 산화 및 기타 처리 과정을 수행하는 수동식 챔버 (passivation chamber) 입니다. AIT VRS-150에는 자동 진공 시스템 (Automatic Vacuum System) 이 있으며, 이를 통해 프로세스의 각 단계에서 제어되는 진공력이 가능합니다. 또한 '노즐-배출 (nozzle-eject)' 유닛이 포함되어 각 프로세스 단계 후에 완전한 웨이퍼 제거가 보장됩니다. 또한 다양한 재료와 응용 프로그램을 수용하기 위해 쉽게 조정 가능한 프로세스 매개 변수를 가지고 있습니다. 이 기계는 작동 오류를 줄이고, 처리량을 늘리고, 공구 수명을 연장하는 다양한 센서와 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 많은 구성 요소가 컴팩트하여 저비용, 고출력 웨이퍼 프로세싱에 적합합니다. 이 모델에는 "와퍼 '크기와 두께 (두께) 에 알맞게 쉽게 조정할 수 있는" 로봇' 과 "프로버 스테이지 '를 위한 자동화된 청소 장비' 가 있다. 게다가, 이 "시스템 '은 일관성 있는 결과 를 보장 하기 위해 조종 된 대기 중 에서 작동 하도록 설계 되었다. VRS-150 (VRS-150) 은 대용량 어플리케이션에서 높은 정확도를 보장하도록 설계된 다양한 기능을 갖춘 고급 다른 웨이퍼 처리 장치입니다. 다축 로봇과 통합 비전 (integrated vision) 기능은 서브 미크론 정밀도를 제공하는 반면, 진공 기계와 노즐은 자동 웨이퍼 처리를 제공합니다. 이 도구는 낮은 비용과 연장된 수명을 위해 설계되었습니다. 또한, 다양한 센서 및 안전 (Safety) 기능은 사용이 쉽고 안전하며 안정적인 자산을 제공합니다.