판매용 중고 AIT VRS-150 #293648373
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AIT VRS-150은 다양한 반도체 제조 응용 분야에 광범위한 솔루션을 제공하는 웨이퍼 (wafer) 처리 장비입니다. 이 시스템에는 통합 유전체 에치 머신, 폴리 산 에치 머신 (poly-acid etch machine) 및 통합 된 포토 마스크 리소그래피 및 증착 프로세스가 장착되어 있습니다. 이를 통해 IC (Advanced Integrated Circuit) 및 유전체 패키지 제작에 필요한 모든 주요 기능을 단일 플랫폼에서 사용할 수 있습니다. VRS-150은 초박형 유전체 에칭, 폴리 산 에칭, 포토 마스크 리소그래피 및 플라즈마 기반 증착과 같은 다양한 향상된 프로세스 기능을 제공합니다. Photomask 리소그래피 모듈은 신뢰할 수 있는 고해상도 패턴 복제 및 마스크 제작 기능을 제공합니다. 플라즈마 기반 증착 프로세스는 높은 처리량, 균일성 및 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 자동화된 모니터링 기능과 신속한 프로세스 최적화를 위한 고급 데이터 수집 (Advanced Data Collection) 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 생산이 효과적으로 최적화되어 제조업체가 생산량을 극대화하고, 폐기물을 줄이고, 비용을 절감할 수 있습니다. AIT VRS-150은 종합적이고 직관적인 제어 기능을 제공하는 인체 공학적으로 설계된 운영자 인터페이스에서 지원됩니다. 사용자 인터페이스에는 8개의 풀 컬러 그래픽 (full-color graphics) 의 정보를 표시하는 큰 컬러 LCD가 있습니다. 이 LCD는 프로세스 시퀀스의 상태 및 작업 정보를 제공합니다. VRS-150 은 최적화된 프로세스 기능과 더불어 전사적 유연성과 확장성을 제공합니다. 이 소프트웨어는 다양한 소프트웨어 솔루션 (Software Solution) 과 함께 작동하도록 설계되었으며, 시스템 확장성을 통해 사용자는 규모에 관계없이 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 요약하자면, AIT VRS-150 은 단일 플랫폼 내에서 광범위한 프로세스 기능을 제공하는 포괄적인 웨이퍼 처리 툴입니다. 유연성, 확장성, 신뢰성을 제공하므로 반도체 제조 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 통합 자동화 시스템 (Integrated Automation Systems) 과 데이터 수집 (Data Collection) 기능은 운영 환경에 효과적으로 최적화되도록 지원하는 반면, 인체 공학적으로 설계된 사용자 인터페이스는 사용자 친화적인 운영을 보장합니다.
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