판매용 중고 AIT VRS-150 #293648371

AIT VRS-150 (VRS-150) 은 가장 까다로운 반도체 어플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다용도 및 신뢰성 있는 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템에는 전자동 환승 스테이션 (Full Automated Transfer Station) 과 최첨단 로봇 암 (Robotic Arm) 이 포함되어 다양한 프로세스 단계를 통해 각 웨이퍼를 쉽게 조작 할 수 있습니다. "로봇 '장치 는 여러 가지 비전" 시스템' 으로 더욱 강화 되는데, 이것 은 전적 인 "알고리즘 '을 이용 하여 전체" 칩' 과 "웨이퍼 '의 발전 을 감시 한다. VRS-150은 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 처리 할 수 있습니다. 또한 75 ~ 300m에 이르는 다양한 웨이퍼 두께를 수용 할 수 있습니다. 이 기계의 최대 웨이퍼 온도는 최대 175 ° C이며, 이는 어닐링 (annealing) 또는 기타 고온 처리가 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이 도구의 컨트롤러는 IBM 호환 CPU이며, 온보드 웨이퍼 처리 소프트웨어와 글로벌 사양 패키지 프로그램 (Global Specification Package Program) 을 모두 위한 두 개의 드라이브가 있습니다. 패키지 (package) 프로그램은 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 제어 기능을 모두 사용하여 프로세스의 각 단계에 대한 매개변수의 사용자정의 구성을 허용합니다. 컨트롤러는 온라인 모니터와 제어, 프로세서 성능에 대한 조정, 경고 및 오류 로깅 (실시간) 을 추가로 수행할 수 있습니다. AIT VRS-150에는 다양한 프로세스 도구가 있습니다. 이러한 도구에는 건식 가속기, 화학 증기 증착 (CVD) 용광로, 오븐 및 다양한 웨이퍼 청소 도구가 포함됩니다. 각 도구는 고품질 제품 생산뿐만 아니라, 오염 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. CVD 용광로는 저온, 저압 공정을 제공하기 위해 추가로 최적화되어 있으며, 고성능 구성 요소에 적합합니다. 요약하면, VRS-150은 고도의 다목적 웨이퍼 처리 자산입니다. 사용이 간편한 컨트롤러, 자동 전송 스테이션 (Automated Transfer Station), 견고한 로봇 암 (Robotic Arm) 및 첨단 공정 도구 어레이로 다양한 고성능 반도체 어플리케이션에 적합합니다.