판매용 중고 AIT VRS-150 #293648369

AIT VRS-150 (VIT VRS-150) 은 다양한 기판에서 박막 (Thin Film) 및 초박막 (Ultra Thin Film) 의 정밀도, 고도로 통제 된 증착 및 에칭을 가능하게하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 광범위한 습식, 건조, 대용량, 저용량 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. VRS-150 은 자동화된 통합 프로세스 툴 (Automated Process Tools) 과 고급 (Advanced) 기술을 모두 갖추고 있어 가장 까다로운 프로세스 환경에서 최고의 수준의 프로세스 제어 및 반복 기능을 구현할 수 있습니다. AIT VRS-150은 모듈식, 고급 하드웨어, 고급 소프트웨어 및 프로세스 기술, 다양한 고도로 지정된 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 탁월한 균일성 (unifority) 및 프로세스 제어를 제공하여 사용자에게 원하는 결과를 얻을 수 있는 효율성이 높은 장치를 제공합니다. 정교한 하드웨어 구성을 통해 사용자가 Wafer 처리를 정확하게 관리할 수 있습니다. VRS-150은 또한 자동화된 프로세스 레시피를 지원하기 위해 고급 난방기, 고급 ablation 및 etching 시스템, 화학 분석 시스템 및 기타 고급 프로세스 미들웨어를 갖추고 있습니다. 이 도구는 스퍼터링, 증발 및 원자층 증착 (ALD) 과 같은 다양한 박막 증착 기술을 수행 할 수 있습니다. 또한 RIE (reactive ion etching), CMP (chemical mechanical polishing), 화학 에칭 및 기타 다양한 웨이퍼 처리 작업과 같은 다양한 에칭 기술을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. AIT VRS-150은 또한 사용자에게 프로세스 제어 및 정확성을 제공하는 고급 화학 분석 및 프로세스 모니터링 시스템을 제공합니다. 이 에셋을 사용하여 프로세스 매개변수를 모니터링, 조정하고 결과 박막 (thin film) 의 품질을 확인할 수 있습니다. VRS-150 의 자동화된 프로세스 레시피 및 프로세스 개발 모드는 사용자에게 사용이 간편한 프로세스 개발 툴을 제공합니다. 또한 사용자는 실시간 프로세스 제어, 분석, 피드백 제어 및 데이터 분석을 제공합니다. AIT VRS-150 은 사용자에게 다양한 씬 필름 증착 (thin-film deposition) 기술을 위한 완전히 자동화된 프로세스 기능을 제공하며, 업계 최고의 프로세스 정교화, 반복성, 프로세스 제어의 독특한 조합을 제공합니다. 고급 기능 외에도 VRS-150 은 다용도, 비용 효율성이 뛰어나며, 가상 필름 증착 (Thin-film Deposition) 요구 사항에 맞는 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 간단한 배치 프로세스에서 까다로운 무중단 운영 (continuous production) 에 이르기까지 매우 적합합니다.