판매용 중고 ADT 977 #293621315

ADT 977 웨이퍼 처리 장비 (ADT 977 Wafer Processing Equipment) 는 다양한 크기와 두께의 웨이퍼를 전송하고 처리하도록 특별히 설계된 고성능 자동 시스템입니다. 이 장치는 간트리 스타일의 운송 기계, 조용한 보닛, 로드 락, 여러 프로세스 챔버 및 로드 포트 챔버로 구성됩니다. 전송 도구는 xy 테이블 드라이브와 선형 모터 기술의 조합으로 구동되며, 기판 위치 및 챔버-챔버 (chamber-to-chamber) 에서 기판의 정확하고 빠른 이동을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 고요한 보닛에는 공정 (process) 과 청소 (cleaning) 가스를 정확하게 제어하기 위해 여러 개의 질량 흐름 컨트롤러가있는 가스 유통 네트워크가 있습니다. 고성능 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 이 자산에 통합되어 있으며, 응용 프로그램에 따라 진공 또는 대기 척 (Chucking) 을 선택할 수 있습니다. 결정화 된 흑연 코너로 설계된 가열 된 하중 잠금 장치 (heated loadlock) 는 수동 선택기 밸브 (manual selector valve) 와 챔버 (chamber) 의 압력을 정확하게 제어하고 신속하게 전환하기위한 자동 게이트 밸브 (gate valve) 를 모두 갖추고 있습니다. 977 개의 챔버는 고도로 구성 가능하며 증착, 에칭, 리프트 오프, 산화, 이식 및 청소 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 프로세스 모듈은 모두 주 제어 모델에 인터페이스될 수 있으므로 압력 (pressure), 온도 (temperature) 및 기타 매개변수를 정확하게 설정할 수 있습니다. 로드 포트 챔버 (load port chamber) 에는 깨끗하고 자동으로 제어되는 전송 포트가 장착되어 있어 프로세스 챔버에 대한 액세스 제어가 가능합니다. 또한 ADT 977 에는 비디오 모니터링, 자동 레시피 기능, 포괄적인 사용자 인터페이스 (user interface) 등이 포함되어 있어 프로세스를 쉽고 직관적으로 운영할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 비상 정지 버튼, 글로벌 차단 기능, 연동 스위치 (Interlock Switch) 및 예기치 않은 사고 및 잠재적 사고에 대한 최적의 보호를 제공하도록 설계된 통합 안전 (Integrated Safety) 기능이 있습니다. 977 Wafer Processing System은 Wafer의 자동 처리, 전송 및 처리를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 안정적이고 사용하기 쉬운 장치로서, 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다.