판매용 중고 AAT 9600 #155478

AAT 9600은 고품질의 균일 한 웨이퍼 생산을 위해 특별히 설계된 '기타 웨이퍼 처리' 장비입니다. 이 시스템은 초저면도 (ultra-low surface roughness) 값을 통해 생산된 웨이퍼가 시장에서 가장 높은 텍스처 품질을 제공하도록 합니다. 9600은 소형에서 대형까지 (최대 200mm) 다양한 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 최상위 Metz Technologies P90 회전 전기 도금 헤드는 균일 한 두께, 평면화의 균일성 및 개선 된 간격 채우기를 보장합니다. 기판은 매우 정확한 위치 단계에서 유지되며, 웨이퍼 (wafer) 의 모든 부분이 균일하게 처리됩니다. 공정 제어 기능을 사용하면 증착률, 두께, 균일성을 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 AAT 9600 에는 경고 보고, 자동 조정, 원격 모니터링 등 여러 가지 자동 제어 기능이 있습니다. 즉, 장치를 원격으로 모니터링하여 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 사용자는 사용자에게 친숙한 인터페이스 (interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 제어하고 성능을 최적화하는 도구를 프로그래밍할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 능력 측면에서, 9600은 공동 충전, 증착 및 코팅을 수행 할 수 있습니다. 자산은 또한 CMP (chemical-mechanical planarization), 뒷면 플라즈마 청소, 화학 에칭 등 여러 가지 후처리 단계를 수행 할 수 있습니다. 이러한 공정은 또한 정확한 유전체 필름, 스퍼터링 및 연마, 텍스처링 (texturing) 을 증착하여 고품질 웨이퍼를 보장하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로, AAT 9600은 업계에서 가장 높은 표면 품질, 규칙성, 균일성을 가진 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. 정확한 프로세스 제어 및 자동화 기능을 통해 최적의 성능을 보장하고 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 크기가 다른 기판을 처리할 수 있으므로, 안정된 성능으로 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 생산하는 데 이상적입니다.