판매용 중고 VG SEMICON / OXFORD V80 #9226450
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ID: 9226450
웨이퍼 크기: 3"
MBE System, 3"
Ion pump
Furnaces
(2) Chambers: GaAs Work
Arsenic cracker
Phosphorous cracker
Gallium
Aluminum
Indium & Silicon
Bake-out panels & heaters
8-Port
LN2 Piping
Does not include vacuum barrier phase separator
G Chamber:
Materials: As, P, Be, In, In, Al, Ga, Si
Ion pump
Diffusion pump
V Chamber:
Materials: Si, As, Cr, Ga, Al, In, Ga, Be
Ion pump
Prep chamber:
Vac-sorbs
Ion pump
RHEED Guns
GaAs Substrates
GaAs Wafers: 650°C (Max temperature)
GaAs Growth temperature: 500°C - 650°C
RHEED Gun power supply
Sumo cell, 300 CC
Bake out panels with heaters
Spare parts
Manuals.
VG SEMICON/OXFORD V80은 장치 및 전자 부품의 고품질, 저온 연구 등급 준비를 위해 설계된 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. 이 MBE 시스템은 다양한 기능을 제공하여 연구원들이 연구를 최대한 활용할 수 있도록 합니다 (영문). 고급 멀티 스테이지 압력 제어 장치, GNET (Long-distance Greater-Unity Net) 뷰 셀, 세라믹 보트 퍼니스, 전체 고성능 쿼츠 구성 요소. OXFORD V80의 고유 한 기능 중 하나는 고급 다단 압력 제어 기계입니다. 이 도구는 MBE 챔버 (MBE chamber) 의 압력과 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 프로세스에 대한 높은 수준의 제어 기능을 제공합니다. 또한, 자산은 안정성 (stability) 을 위해 설계되어, 모든 증착 과정에서 원하는 조건이 일관되게 유지됩니다. VG SEMICON V80의 또 다른 독특한 기능은 고유 한 GNET (장거리 대단위 네트) 뷰 셀입니다. 이 "셀 '은 고급 영상" 모델' 을 사용 하여 약실 내 의 기질 의 증가 를 감시 한다. 또한 증착 속도와 조성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 셀은 왜곡되지 않은 해상도를 높이려면 단일성 광학 뷰 (optical view) 보다 큽니다. V80에는 세라믹 보트 용광로도 포함되어 있습니다. 이 용광로는 최대 1000 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며, 균일 한 가열과 일관된 성능을 제공합니다. MBE 증착 전후에 샘플을 녹이고 챔버 전체에 균일 한 가열을 제공하는 데 사용할 수 있습니다. 이 퍼니스는 또한 샘플 복구를위한 냉각주기를 특징으로하며, 연구원들이 다른 증착을 위해 MBE 챔버를 빠르게 재설정 할 수 있습니다. 마지막으로 VG SEMICON/OXFORD V80에는 모든 고성능 쿼츠 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이 구성 요소는 스테인리스 스틸 진공실 내에 보관되어 있으며 오염으로부터 보호 할 수 있습니다. 이렇게 하면 정결 하고 길들여지지 않은 "샘플 '이 생산 되고, 증착 로 인한" 샘플' 의 손상 위험성 을 제한 하는 데 도움 이 된다. 요약하자면, 옥스포드 V80 (OXFORD V80) 은 다양한 기능과 기능을 제공하는 고급, 고품질 MBE 장비로, 최고의 품질과 가장 정확한 증착 결과를 얻고자 하는 연구원들에게 이상적인 선택입니다. VG SEMICON V80은 고급 다단계 압력 및 온도 제어 시스템, 독보적인 장거리 대용량 네트 뷰 셀, 세라믹 보트 퍼니스 (Ceramic Boat Furnace) 및 고성능 쿼츠 컴포넌트 (Quartz Component) 세트에 이르기까지 모든 베이스를 통해 최고의 결과와 효율성을 보장합니다.
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