판매용 중고 VEECO GENxplor #293648270

분자 빔 에피 택시 (MBE) 는 반도체 장치 제조에 사용되는 진공 증착 기술의 한 유형입니다. "MBE '는 밀봉 된 진공실 을 이용 하여 여러 기판 에" 박막' 물질 을 증착 시키는 원자 나 분자 형태 로 사용 한다. VARIAN/VEECO GENxplor, 특히, 향상된 성능과 재생성을 특징으로하는 재료를 증착 할 수있는 고진공 저온 원자층 에피 택시 (ALE) 시스템입니다. VEECO GENxplor는 VEECO 특허 고순도, 저산소 용광로 2 개 (양쪽 끝에) 또는 동일한 기판에 2 개의 고유 한 온도 영역이있는 단일 이중-영역 용광로를 포함하는 삽입물로 구성된 2 구역 시스템입니다. 2 구역 용광로를 사용하면 온도 조절이 정확한 온도에서 다른 온도에서 2 개의 박막 재료를 증착 할 수 있습니다. VARIAN GENxplor에는 3 개의 분자 빔 밸브 (molecular beam valve) 와 2 개의 발작 세포 (effusion cell) 가 장착되어 더 큰 금속 소스 화학 물질을 제공합니다. 분자 빔은 성장 챔버에 극도로 정확한 양의 금속 증기를 주입하는데, 이는 전통적인 금속-유기 증기 증착 공정에 비해 130 ~ 600 배 더 정확한다고합니다. 또한, GENxplor는 고급 웨이퍼 위치 모듈을 갖춘 우수한 웨이퍼 균일성을 제공하며, 이는 1 µm 이내입니다. 이를 통해 증착 중 소스 (source) 와 기판 (substrate) 의 온도를 모두 제어할 수 있으므로 전체 웨이퍼에 걸쳐 고품질 박막 (thin film) 레이어가 증가합니다. 마지막으로, VARIAN/VEECO GENxplor는 VARIAN GRIP 패턴 성장 소프트웨어와 함께 번들로 제공되며, 이는 최첨단 나노 스케일 (Nanoscale) 메모리 장치 및 기타 고성능 장치의 제작을위한 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 소프트웨어는 분자 빔 밸브 (molecular beam valves) 와 발진 셀 (effusion cell) 을 제어하여 증착 과정을 자동화하여 정확하고 안정적인 증착을 보장합니다. 결론적으로, VEECO GENxplor는 기존의 MBE 시스템에 비해 향상된 정확성과 성능을 제공하는 고급 MBE 시스템으로, 박막 증착에 대한 완전한 정밀도와 제어를 목표로하는 장치 제조업체에 적합한 툴입니다.