판매용 중고 VEECO GEN III #293627903

VARIAN/VEECO GEN III는 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비로, 고급 증착을위한 정확한 원자 반응 환경을 제공합니다. 이것 은 "레이어 '나 장치 내 에 있는 바람직 한 위치 에 있는 개별 분자 나 원자 를 정확 하게 배치 하는 것 을 통하여 행해진다. VEECO GEN III 시스템은 독특한 울트라 하이 진공 환경을 사용하여 정밀도, 고순도, 균질 한 결과를 생성하여 추가 정화 또는 확산 과정의 필요성을 완전히 제거합니다. VARIAN GEN III는 3 가지 기본 단위 구성으로 제공되며, 다양한 유형의 MBE 증착 작업을 제공합니다. 단일 웨이퍼 머신에는 단일 웨이퍼 실험에 이상적인 가열 서셉터가있는 단일 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 가 있습니다. 반면, 2 웨이퍼 도구는 독립적 인 난방 요소가있는 2 개의 반독립 웨이퍼 홀더를 제공하여 사용자에게 양쪽 웨이퍼를 함께 입금 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 3- 웨이퍼 (three-wafer) 자산은 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 사용자가 3개의 웨이퍼와 예금을 빠르게 삽입할 수 있는 간단한 로드/언로드 스테이션입니다. 이 구성은 반도체 장치 및 디스플레이와 같은 대용량 장치에 가장 적합합니다. 모든 GEN III 시스템은 압력, 온도, 플럭스 등 증착 과정의 모든 측면을 완전히 제어합니다. 이 시스템은 또한 내장 (BIST) 냉각 모델을 통해 장치에서 발생하는 모든 열을 발산합니다. 이 냉각 장비는 VARIAN/VEECO GEN III 시스템의 강력한 플럭스 전달과 함께, 가능한 가장 정확하고 반복 가능한 속도로 증착이 수행되도록 보장합니다. 웨이퍼 크기 측면에서, VEECO GEN III는 광범위한 웨이퍼와 호환되며, 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 내장 로드, 언로드 전송 및 카세트 시스템을 갖추고 있으며, 최대 12 개의 처리 된 웨이퍼를 손쉽게 처리 및 전송할 수 있습니다. VARIAN GEN III에는 원치 않는 배경 가스를 신속하고 정확하게 식별하기 위해 고감도 사중극 질량계 (high-sensitivity quadrupole mass spectrometer) 와 전체 MBE 프로세스를 간소화하고 개선하기위한 다양한 자동화 도구가 추가로 장착되어 있습니다. 전반적으로 GEN III는 시장에서 사용할 수있는 가장 고급 MBE 시스템 중 하나입니다. 또한 Flux Delivery, Wafer 및 Device Compatibility, Automation Capability, 그리고 Unit Configuration 면에서 다목적으로는 광범위한 고급 연구/개발 프로젝트에 이상적인 선택이 될 수 있습니다.