판매용 중고 VEECO Gen II #9057008
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ID: 9057008
빈티지: 1984
MBE Growth system
Wagon wheel prep chamber with auger analysis
Auxiliary chamber
Growth chamber
Manual valve
Ion-pumped 4-effusion cell system
(8) Effusion cells, 2"
(4) Upward-looking effusion cells
All GaAs: InALGaAs based materials with Si and Be dopant sources
(3) Ion pumps at base
(2) Sorption pumps
Functional RHEed and QMS
Spare parts and effusion cells available
No phosphorous deposited
6-Wafer load lock
O2 Plasma source
H2S Cracker cell
H2S3 Cracker cell
EUROTHERM Temperature controller
Operation system and computer
1984 vintage.
VARIAN/VEECO GEN II는 광범위한 광전자 및 전자 재료를 생산하도록 최적화 된 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비입니다. 단순한 구성 변경을 허용하는 최첨단 모듈식 설계를 제공합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 을 통해 프로세스 매개변수를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 질화 갈륨 (GaN), 갈륨 비소 (InGaAs), 갈륨 비소 (GaAs) 및 인화 인듐 (InP) 과 같은 반도체 물질뿐만 아니라 금과 같은 금속을 포함한 광범위한 물질을 증착 할 수 있습니다. 알루미늄. 또한이 장치는 이온 빔 보조 증착 (ion beam assisted deposition) 과 같은 여러 가지 고급 재료 증착 기술을 수행 할 수 있습니다. 특수하게 설계된 이온 빔 (IBAD) 은 재료, 흡착 제어 증착, 물질이 노출 된 표면에 만 증착되도록 보장하는 기술, 금속 보조 화학 에칭 (etching) 을 프로파일하고 형성하는 데 사용됩니다. (MACE), 다양한 나노 구조 기반 템플릿을 만드는 데 사용될 수있는 혁신적인 기술. 또한 VEECO GEN II 머신에는 몇 가지 고급 진단 시스템 (Advanced Diagnostic System) 이 장착되어 있는데, 이 시스템은 퇴적물의 품질을 모니터링하고 평가하는 데 사용할 수 있습니다. 여기에는 situ 반사계 및 스캔 전자 현미경 이미지가 포함됩니다. 이 도구는 자동 웨이퍼 모니터링 자산과도 통합됩니다. 이를 통해 실시간 웨이퍼 (wafer) 분석 및 품질 제어를 통해 최적의 재료 증착 성능을 제공합니다. VARIAN GEN II 모델에는 아크 검출기, 가스 농도 및 검출기 모니터, 안전 연동 장비와 같은 여러 안전 기능도 제공됩니다. 이 기능은 운영자와 연구원 모두에게 높은 수준의 안전 (safety) 을 유지하도록 설계되었습니다. GEN II 시스템은 광전자 및 전자 재료 생산을위한 강력하고 유연한 플랫폼입니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 최적의 재료 증착 성능을 위해 프로세스 매개변수가 유지되도록 합니다. "뉴우요오크 '는 광범위 한 재료 를 입금 하는 능력 을 가지고 있어서, 여러 가지 응용 에 적합 하다. 또한, 이 기계에는 여러 가지 고급 진단 시스템 (Advanced Diagnostic System) 이 장착되어 있으며, 재료 증착 품질에 대한 종합적인 분석, 수많은 안전 기능이 제공됩니다.
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