판매용 중고 VEECO Gen II #293627901

VARIAN/VEECO GEN II는 재료 조성과 두께의 서브 나노 미터 정확도를 정확하게 제어 할 수있는 고순도 재료의 박막 증착을 가능하게하도록 설계된 최첨단 분자 빔 에피 택시 (MBE) 시스템입니다. 이 제품은 전문 하드웨어 구성요소, 고급 소프트웨어 (Advanced Software), 미세하게 튜닝된 프로세스의 조합을 활용하여 신뢰할 수 있는 균일성을 통해 계층의 성장을 보장합니다. VEECO GEN II에는 몇 가지 주요 구성 요소가 있습니다. "시스템 '의 기초 는 진공실 이며, 원하는 가공" 가스' 로 "챔버 '를 대피 하고 역전 시키는 데 필요 한 장비 가 있다. 약실 안 에는 기판 "히터 '가 있는데, 이" 히터' 는 강착 될 물질 의 정확 한 온도 조절 을 위하여 사용 된다. 전자 빔 건 (e-beam gun) 은 진공실 내 재료의 탈착, 증착 및/또는 패턴을 촉진하기 위해 전자 빔을 제공하는 데 사용됩니다. 전자빔 (e-beam gun) 은 또한 전자빔의 용량 또는 강도를 변화시켜 층 성장의 특정 특성을 제어하는 데 사용될 수있다. 또한, VARIAN GEN II는 여러 세트의 성 (effusion) 세포를 함유하고 있으며, 이를 통해 원소 가스원 (예: 게르마늄 및 비소) 을 증착실로 투여 할 수있다. 이러 한 세포 들 은 물질 미세 구조 와 두께 를 정확 히 제어 할 수 있도록 정확 한 온도 "컨트롤러 '와 슬릿 공조" 어셈블리' 를 가지고 있다. GEN II (Gen II) 에는 증착실에 입원 된 물질의 양을 정확하게 제어하기 위해 개방 또는 폐쇄 할 수있는 여러 세트의 셔터 어셈블리가 있습니다. VARIAN/VEECO GEN II는 레이어 성장에 대해 "단일 사이클" 접근 방식을 사용합니다. 챔버, 기판 및 소스 모두 사이클을 사용하여 성장하는 모든 레이어에 대해 완벽한 제어 및 균일성을 제공합니다. "약실 '은 액체 질소 에 의해 가압 되고 고정 될 수 있으며, 이것 은 성장 속도 의 처리량 과 조절 을 증가 시킨다. VEECO GEN II는 또한 완전히 자동화 된 "레시피 (recipe)" 접근 방식을 가지고 있습니다. 즉, 사용자가 원하는 레이어 매개변수를 입력할 수 있고 VARIAN GEN II는 해당 레이어를 배치하는 데 필요한 모든 프로세스 단계를 자동으로 처리합니다. MBE GEN II는 현대 박막 증착 시스템의 전형입니다. 정밀 레이어 증가 및 재료 매개변수 제어 (control over material parameter) 를 허용하는 한편, 완전 자동화 작업을 통해 높은 처리량을 제공합니다.