판매용 중고 VEECO GEN 2000 #293610396

ID: 293610396
빈티지: 2002
MBE system 2002 vintage.
VEECO GEN 2000은 반도체 제조 기술의 최전선을 나타내는 최첨단 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. 첨단 기능과 자재 증착 (material deposition) 에 대한 정확한 제어 기능을 갖춘 GEN 2000 은 연구/생산 환경에서 가장 복잡하고 까다로운 자재 성장 (material growth) 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. VEECO GEN 2000의 중심에는 고성능 증착실 (deposition chamber) 이 있으며, 이는 고품질 에피 택시 레이어의 성장에 필수적인 깨끗하고 초고성능 진공 환경을 제공합니다. 이 방에는 갈륨 (gallium), 비소 (areic), 인듐 (indium) 과 같은 원소 소스를 수용하는 여러 개의 발진 세포가 장착되어 있어 증착 중 물질 플럭스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이들 원소 종의 플럭스를 신중하게 조절함으로써, GEN 2000은 예외적 인 균일성과 순도로 원자 제어 층의 성장을 가능하게한다. VEECO GEN 2000에는 정교한 기판 처리 시스템 (Substrate Handling System) 이 장착되어 있어 성장 중 기판 위치 및 방향을 정확하게 조작할 수 있습니다. 이를 통해 에피 택시 레이어가 고급 반도체 장치의 성능에 중요한 요소 인 원하는 두께 (thickness), 구성 (composition) 및 결정학적 방향 (crystallographic orientation) 으로 증착됩니다. 이 장치는 또한 반사 고 에너지 전자 회절 (RHEED) 및 타원 측정법 (ellipsometry) 과 같은 현장 모니터링 도구를 갖추고 있으며, 이는 성장 프로세스에 대한 실시간 피드백을 제공하고 레이어 두께와 품질에 대한 정확한 제어를 가능하게합니다. GEN 2000 의 핵심 강점 중 하나는 유연성과 확장성 (Scalability) 인데, 이를 통해 연구원과 제조업체는 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 도구는 그룹 III 소스 (예: 갈륨, 알루미늄, 인듐) 및 그룹 V 소스 (예: 질소, 비소, 인) 를 포함하여 다양한 범위의 효과 세포로 구성 될 수 있으며, 다양한 배열의 화합물 반도체 물질의 증착을 가능하게합니다. 리움 (GaAs), 인듐 또한, 자산은 복잡한 이종 구조 및 다중 계층 스택의 성장을 지원하므로 광전자 (optoelectronics), 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 광자 (photonics) 의 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 고급 자재 성장 기능 외에도, VEECO GEN 2000은 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 손쉽게 성장 레시피를 프로그래밍하고 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 또한 장비의 안전한 운영을 보장하고, 성장중인 반도체 재료의 무결성을 보호하기 위해 종합적인 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 경보를 제공합니다. 전반적으로, GEN 2000은 현대 반도체 연구 및 생산의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 정밀도, 유연성, 확장성을 결합한 최첨단 분자빔 에피 택시 장비를 나타냅니다. 차세대 반도체 (반도체) 기기를 추구하는 소재 과학기술의 경계를 밀어붙이려는 연구자· 제조사의 필수 도구다.
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