판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN III #9239247

VARIAN/VEECO GEN III는 다양한 기판에 얇은 반도체 필름을 퇴적시키는 데 사용되는 고급 분자 빔 에피 택시 (MBE) 시스템입니다. 그것은 4 개의 챔버로 구성되며, 저온 homoepitaxial 성장, 산화물 및 질화물 및 기타 고급 epitaxial 프로세스를 수행하도록 구성된다. 첫 번째 챔버에는 다중 디버거 소스가 있습니다. 다른 물질에 의한 기질의 오염을 방지하기 위해 최대 6 개의 수평 (horizontal) 또는 디버그 소스 (debugsources) 가 개별적으로 분리되어 있습니다. 다중 소스 (multi-source) 는 원하는 증착 프로세스에 따라 전류, 전력 및 주파수가 달라질 수 있습니다. 이 챔버에는 전자 빔 셔터, 히트 실드 및 쇼트 키 (Shottky) 억제기와 같은 필요한 소스 액세서리도 장착되어 있습니다. 제 2 챔버에는 기판 홀더 (최대 4 개의 기판을 수용 할 수있는 수직 회전 어셈블리) 가 포함되어 있습니다. 또한 하중 잠금을 수용하고 샘플을 -100 ° C ~ 800 ° C 사이의 온도로 가열하여 고급 성장 과정을 허용합니다. 2 개의 셔터 조작 장치 (shuttered manipulator) 와 메인 셔터 (main shutter) 는 기판을 보호하는 반면, 레벨러는 균일 한 기판 가열을 보장합니다. 세 번째 챔버는 성장 챔버이며, 난방 필라멘트, 8 개의 가스 인젝터 및 cryopumping 라인이 장착되어 있습니다. 필라멘트는 300 ~ 900 ° C의 성장 온도에 필요한 에너지를 공급하도록 설계되었습니다. "가스 '" 인젝터' 는 "가스 '" 패널' 에 연결 되는데, 이 "가스 패널 '은 원천 과 도펀트" 가스' 를 성장 실 로 전달 하는 데 사용 된다. cryopumping line은 잔류 가스를 펌핑하여 낮은 배경 압력을 유지하는 데 사용됩니다. 네 번째 챔버는 결과 챔버로, 결과 박막이 특징입니다. 이 챔버에는 종 식별을위한 4 중 질량 분석기 (QSMS) 와 구성 분석을위한 잔여 가스 분석기 (RGA) 가 장착되어 있습니다. 또한 별도의 photomicroscope 챔버에서 웨이퍼를 검사하기위한 자동 샘플 전송 스테이션이 포함되어 있습니다. VEECO GEN III는 운영 및 연구 목적으로 설계된 고급 MBE 시스템입니다. 이 시스템은 여러 개의 챔버, 최첨단 구성 요소, 고급 성장 프로세스 가용성을 통해 높은 처리량 증착 (throughput deposition) 및 프로세스 개발에 이상적입니다.