판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9238934

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VARIAN / VEECO GEN II
판매
ID: 9238934
웨이퍼 크기: 4"
MBE System, 4".
VARIAN/VEECO GEN II는 분자빔 에피 택시 (MBE) 장비로, 기판에 얇은 유기 및 무기 물질을 침전시키는 데 사용되며, 연구자들은 놀라운 제어 및 정확도로 고정밀 나노 구조를 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 최대 1 마이크로미터 두께의 몇 개의 옹스트롬에서 시작하여 레이어를 배치 할 수 있으며 반도체, 금속, 폴리머, 나노 구조 등 다양한 재료에 사용할 수 있습니다. MBE 시스템은 초고진공에서 고온에서 물질을 기화시킨 다음, 수증기를 냉각된 기판에 증기시켜 작동합니다. VEECO GEN II MBE 장치에서 진공실은 하중 잠금 (load lock), 주 챔버 (main chamber) 및 기판 준비 챔버 (substrate preparation chamber) 의 세 부분으로 나뉩니다. 샘플은 로드 락 (load lock) 에 배치되고, 환경은 원하는 진공 수준으로 펌핑되고, 샘플은 주 챔버 (main chamber) 로 전달된다. 일단 그 기질 이 필요 한 온도 로 가열 되고 증발제 가, 전형적 으로 "크누드센 '세포 나 전자" 빔' 을 통해 도입 된다. 물질이 챔버 내에서 기화됨에 따라, 기판의 표면을 향하게된다. 그 다음 에 증착 된 "필름 '을 서서히 냉각 시키고, 원하는" 나노' 구조 를 형성 하기 위하여 "안네일 '을 한다. 이 기계에는 증착 (deposition) 및 필름 형성 (film formation) 프로세스를 더욱 효과적으로 제어 할 수있는 수많은 기능이 포함되어 있습니다. 예를 들어, VARIAN GEN II (VAR GEN II) 에는 필름의 두께와 증착 속도, 샘플 회전 단계, 그리고 챔버의 가스 환경을 정확하게 제어 할 수있는 가스 전달 자산 (gas delivery asset) 을 변화시킬 수있는 고정밀 초퍼 도구가 있습니다. 또한이 모델에는 다양한 빔 셔터 (beam shutter) 가 포함되어 있으며, 무기 또는 유기 금속 (organic metal) 의 증착 또는 증착에서 종의 분포에 대한 정확한 제어가 가능합니다. GEN II MBE 장비는 연구자들이 나노 구조에 정밀성과 제어를 추가하려는 귀중한 도구입니다. 이 기능은 사용자에게 정확한 제어를 통해 고성능 나노 구조를 만들 수있는 기능을 제공하여 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 광자 공학 (photonics), 재료 과학 (materials science) 등의 분야의 응용 프로그램을 허용합니다.
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