판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9232281

VARIAN/VEECO GEN II는 고증착 정밀도 및 저가스 불순물 통합을 위해 설계된 최첨단 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. 고체 물질을 높은 정확도와 우수한 해상도로 다양한 기판 (기판) 유형에 증착 할 수 있습니다. 이 시스템은 초고진공 장치 (ultra-high vacuum unit), 발진 세포 (effusion cell) 및 전자 빔 증발기 (electron beam evaporator) 와 같은 여러 구성 요소로 구성되며, 모두 함께 작동하여 원하는 필름을 생성합니다. 초고 진공기는 여러 단계의 펌프 (pump) 와 빔 라인 (beam line) 으로 구성되어 있으며, 이는 진공을 분자 빔 에피 택시 성장에 대한 최적의 수준으로 유지하는 데 사용됩니다. 이 도구는 유지 관리 패널을 통해 액세스할 수 있으며 기본 압력 (10-7 - 10-8 Torr) 을 유지할 수 있습니다. 전자 빔 증발기는 물질을 가열하고 증발시키는 데 사용되며, 본질적으로 선택 기질의 분자를 '응축 (condensing)' 한다. 이것은 폐쇄 루프 또는 반응성 성장 프로세스가 수행 될 수있는 곳입니다. "에큐전 '세포 는" 가스' 의 흐름 을 조절 하고 성장 과정 에 필요 한 화학 전구체 를 수입 하는 데 사용 된다. 이 자산은 또한 정확한 가스 분배 제어를 담당합니다. 단일 채널 (single-channel) 또는 이중 채널 (dual-channel effusion) 셀이 장착되어 있으며 한 번에 최대 2 개의 금속 또는 반도체 소스를 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 재료의 컴포지션, 레이어 두께, 증착율을 정확하게 제어할 수 있습니다. VEECO GEN II는 또한 기판에 대한 정확한 온도 조절을 보장하는 초미세 저항 열 스캐닝 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 50K ~ 1000K의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 전자 사이클로트론 공명원 (electron cyclotron resonance source) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 필름에 통합 할 원자의 이온화를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전반적으로, VARIAN GEN II는 다양한 재료의 정확하고 저온 성장을 제공 할 수있는 정교한 물질 증착 장치입니다. 이 기능은 광범위한 연구 개발 응용 프로그램 (Research and Development Application) 에 적합합니다.