판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9232278

VARIAN/VEECO GEN II는 성장 실, 증발기, 가스 전달 시스템 및 장치 제어 장치로 구성된 고급 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비입니다. 성장 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 기본 압력은 10-10 Torr입니다. 이 챔버는 최대 8 개의 기질과 산소, 수소와 같은 기계 내 기체의 흐름에 대해 충분히 큽니다. 증발기는 여러 개의 독립적 인 소스를 가지며 온도를 모니터링합니다. 소스는 최대 1200 ° C까지 가열 할 수 있으며, 각각 자체 온도 컨트롤러로 제어됩니다. "가스 '배달 도구 는 최대 13 개 의" 가스' 를 처리 하도록 설계 되었으며 비례 "컨트롤러 '를 통하여" 가스' 의 부분 압력 을 자동 수동 으로 조절 한다. 가스 전달 자산은 균일 한 가스 분배를 제공하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 모델 실험 제어 장치는 성장률, 질소 도핑, 증착의 선형성 및 균일성, 층의 균질성, 성장 률 및 p- 도핑 종과 같은 모든 매개변수를 모니터링 할 수 있습니다. VEECO GEN II는 MBE 기술을 사용하는 최대 8 개의 기판에서 고품질의 재생 가능한 반도체 성장을 위해 설계되었습니다. 특수 소재 개발, 가장 까다로운 양자 소자 (quantum device) 제조에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 고품질 레이어 증착을 위해 갈륨 비소 (GaAs) 및 인화 인듐 (InP) 과 같은 III-V 재료를 증착시키는 데 이상적입니다. 또한 레이어 도핑 및 에피 택시 패턴화에도 사용됩니다. 기체 배송 장비는 8 개 기체 사이에서 빠른 전환성을 갖도록 설계되어 프로세스 유연성 향상, 저온 성장 공정 (low-tempering growth process) 을 제공합니다. 전반적으로 VARIAN GEN II는 효율적이고, 안정적이며, 다재다능하도록 설계된 전문적인 MBE 시스템입니다. 고급 MBE 프로세스에 필요한 기능과 사양을 제공합니다. 광범위한 증착 매개변수 (deposition parameters), 뛰어난 제어 능력, 유연성 등을 통해 반도체 애플리케이션의 고급 MBE 연구 및 개발에 이상적인 선택이 가능합니다.