판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9225866

VARIAN/VEECO GEN II는 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비로, 필름 두께의 뛰어난 순도 및 원자 스케일 제어를 가진 화합물 반도체의 고정밀, 단결정 박막 생산에 사용됩니다. VEECO GEN II에는 2 개의 발작 세포가 장착되어 있습니다. 하나는 그룹 III 요소이고 다른 하나는 그룹 V입니다. 세포는 기판 온도 및 플럭스를 최적화하기 위해 3 축 조작기에 장착됩니다. 기질은 최대 750 ° C의 온도까지 가열되고, 셔터는 조작기 (manipulator) 와 무관하게 효과 세포 (effusion cell) 로부터 플럭스를 방해하는 데 사용된다. 또한 RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction) 장치를 장착하여 플럭스 속도 및 기하학 최적화를 지원합니다. 이를 통해 성장을 보다 효율적으로 모니터링하고 최종 제품의 품질을 확보할 수 있습니다 (영문). 또한, VARIAN GEN II는 저에너지 이온 소스를 가지고 있으며, 이는 필름의 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. GEN II는 또한 깨끗하고 매우 높은 진공 환경을 유지하면서 효율적인 영화 성장을 가능하게하는 4 중 챔버 진공 오븐을 갖추고 있습니다. 4 개의 챔버는 로드 잠금 포트를 통해 진공 디가싱 챔버로 연결됩니다. 이 챔버는 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 및 터보 드래그 펌프 (turbo-drag pump) 조합에 연결되어 재료의 성장에 필요한 매우 높은 진공 환경을 제공합니다. VARIAN/VEECO GEN II는 또한 잔류 가스 분석기, 마이크로파 전자 사이클로트론 공명 플라즈마 소스, 환형 이중 빔 증발기와 같은 다양한 다른 구성 요소를 제공합니다. 전반적으로 VEECO GEN II MBE 머신은 유연성과 컨트롤의 독특한 조합을 제공하여 뛰어난 구조적, 전기적 특성을 가진 고품질의 동종 반도체 박막 (Thin film) 의 효율적인 생산을 지원합니다. 클로즈드 루프 제어 도구 (closed loop control tool) 를 유지하는 능력으로 인해 개발 된 반도체 재료의 정확하고 일관된 필름 성장과 균일성이 가능합니다.