판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9215069

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ID: 9215069
MBE System P/N: 981-4001 Includes: Main chamber Electronics rack Plate Removed parts: RHEED Gun Source cells Transfer arms.
VARIAN/VEECO GEN II 분자 빔 에피 택시 (MBE) 장비는 에피 택시 필름의 성장을위한 다용도 및 효율적인 도구입니다. 최대 4 개의 기판 또는 성장 챔버를 수용하도록 설계되었으며, 편리한 샘플 로딩 및 언로드를 위해 최첨단 자동 로더를 갖추고 있습니다. 박막 (thin film) 의 성장은 MBE의 과정을 통해 이루어지는데, 이는 물질의 양자 역학적 행동에 기반한 박막 증착 기법이다. 이 방법 에서 "기판 '은 특정 한 물질 의 성장 에 적합 한 온도 로 가열 된다. 그런 다음 원자 종의 분자 빔을 기질쪽으로 향합니다. 이러 한 광선 이 기질 과 상호 작용 할 때, 원자 는 기질 위 에 있는 층 에 증착 되어 "박막 '을 형성 한다. VEECO GEN II MBE 시스템에는 박막 증착에 이상적인 몇 가지 기능이 있습니다. 예를 들어, 이 장치에는 고급 가스 전달 시스템 (advanced gas delivery systems) 이 장착되어 기판에 균일 한 가스 흐름 및 최고의 성장 조건을 보장합니다. 또한, 고급 소스 잠금 (source-locking) 메커니즘을 특징으로하여 기판 전체에 걸쳐 매우 정확한 성장 균일성을 제공합니다. VARIAN GEN II MBE 머신은 또한 Si, Ge, AlxGaAs 및 InAs/Alsb를 포함한 다양한 기판에 대한 여러 가지 기판 보유자를 제공합니다. 이를 통해 단일 기판에 여러 개의 박막 (thin film) 을 증착하여 다양한 응용 프로그램을 충족 할 수 있습니다. 이 도구에는 혁신적인 수축 (transflective) 디자인이 포함되어 있어 박막을 증착할 때 유연성이 향상됩니다. 이것 은 각기 다른 방향, 각도, 평면 으로 실험 할 수 있으며, 특히 나노 구조 의 형성 에 유용 하다. GEN II MBE 자산은 오늘날 시장에서 가장 발전된 박막 증착 도구입니다. 첨단 기술로, 박막 성장에 탁월한 균일성, 정밀성, 유연성을 제공합니다. 결과적으로 VARIAN/VEECO GEN II MBE 모델은 광범위한 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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