판매용 중고 VARIAN / VEECO GEN II #9215068

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ID: 9215068
MBE System P/N: 981-4001 Includes: Main chamber Electronics rack Plate Removed parts: RHEED Gun Source cells Transfer arms.
VARIAN/VEECO GEN II는 다양한 응용 프로그램에서 고품질 박막 성장을 위해 설계된 MBE (molecular beam epitaxy) 장비 유형입니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 실리콘 (silicon) 과 갈륨 (gallium) 과 같은 원소 입자의 빔을 사용하여 이러한 재료의 원자층 박막을 재배합니다. VEECO GEN II는 독특합니다. 왜냐하면 이빔 증발 (E-beam evaporation) 이라는 독특한 기술을 사용하여 얇은 물질의 필름을 퇴적시키기 때문입니다. 이 전자 빔 (E-beam) 은 물질에 전기장을 가하면 생성되어 물질 분자가 입자 빔에서 이온화 (ionized) 되거나 가속화된다. 박막 성장 과정 은 물질 이 진공계 로 "펌프 '되는 것 으로 시작 된다. 이 물질 은 소스 (source) 물질 을 형성 하고, 특정 한 온도 로 가열 되며, 그 로 인해 원자 는 소스 (source) 물질 의 표면 에서 제거 된다. 동시에, 전자 빔 (E-beam) 은 소스 재료의 증착을 박막이 자라는 기판으로 지시하고 제어합니다. 막의 두께가 커짐에 따라, 추가 요소 (도펀트) 를 장치에 도입함으로써 성장을 변조 할 수 있는데, 이는 응력, 저항성, 밴드 간격, 유전율과 같은 박막 (thin film) 의 특성 및 전기 특성에 영향을 미칩니다. VARIAN GEN II는 또한 2 개의 진공 펌프와 VEECO Opticron 이미징 머신을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 박막 성장을 모니터링 할 수 있습니다. 또한 서피스 분석기 (Surface Analyzer) 는 샘플의 표면 품질을 측정하는 데 사용되며, 샘플은 더 높은 증착률, 더 높은 품질, 반복 가능한 실험을 사용하여 처리 할 수있는 로드 잠금 (Load-Lock) 도구가 있습니다. GEN II는 과학자와 엔지니어들이 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 에서 태양 에너지 (solar energy) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 대해 고품질의 박막 (thin film) 을 만들 수 있도록 지원하는 최첨단 MBE 자산입니다. 이 프로젝트는 고품질 박막 성장을 찾는 사람들에게 귀중한 도구이며, 변형된 박막 구조, 인터페이스 연구 (interface studies), 도핑 연구 (doping studies) 등의 측정과 같은 광범위한 연구에 사용되었습니다.
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