판매용 중고 RIBER 49NT #9103304

RIBER 49NT는 반도체 재료 및 장치의 연구 및 개발을 위해 설계된 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. 그것 (molecular-level deposition system) 은 원자를 기판 표면에 한 번에 하나씩 침전시켜 얇은 층의 결정질 물질을 형성하는 분자 수준 증착 시스템이다. 이 장치는 증착 소스, 자동 셔터링 머신 및 RF 플라즈마 소스로 구성됩니다. 이 도구에는 여러 제품을 동시에 배치하기 위해 두 가지 다른 유형의 효능 셀을 포함하는 2 개의 모듈이 있습니다. 주요 성분은 III-V 그룹 반도체 재료의 빌딩 블록 역할을하는 Ga 및 Al의 순차적 증착을위한 4 개의 Knudsen 세포 (K- 세포) 로 구성된다. 두 번째 모듈에는 II-IV 유형 합금 및 합금의 형성을 위해 Te, Sb 및 In이 증착 된 2 개의 Knudsen 세포 (C- 세포) 가 포함되어 있습니다. 자동 RF-shuttering 자산은 원하는 순서로 III-V 및 II-IV 재료의 증착을위한 제어 셔터를 제공합니다. 고압 RF- 플라즈마 소스는 기본 압력을 줄이고 결정 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다. 현장 내 결정 성장 모니터링 모델이 장비에 내장되어 있습니다. 약실에 장착 된 AFM (AFM) 은 품질 관리 목적으로 크리스탈의 인룬 (in-rune) 성장을 모니터링하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 또한 결정 성장 동안 결정 방향 (Eulerian) 을 제어 할 수 있습니다. 또한, 패키지는 샘플의 열, 광학, 광학 및 전기 특성에 대한 배기 장치를 제공합니다. 이 기계는 < 5 x10-11 Torr의 기본 압력으로 매우 높은 진공에서 작동하도록 설계되었습니다. 공구의 온도 범위는 RT와 1000-C 사이입니다. eff-chamber 초고진공 히터는 최대 1000 'C의 온도를 달성합니다. 에셋에는 모듈 간 웨이퍼 전송에 사용되는 로봇 암 (robotic arm) 도 장착되어 있습니다. 49NT 는 "반도체 '재료 와 기기 를 개발 하고 연구 할 필요 가 있는 여러 가지 산업 에 사용 된다. 연구개발 (R&D) 사업에 필수적인 도구다. 시장에서 가장 발전된 MBE 시스템 중 하나로 꼽힌다.