판매용 중고 RIBER 32P #9309553

분자 빔 에피 택시 (MBE) 는 기판에 박막을 합성하고 증착시키는 방법이다. RIBER 32P 장비는 정확한 두께, 뛰어난 결정성 및 결함이 낮은 에피택셜 레이어 (필름) 를 제공하도록 설계된 고성능 MBE 시스템입니다. 이 장치는 고진공 챔버, 발진 셀, 터보 분자 펌프, 셔터, 소스 재료 셔터 및 UHV (Ultra Hahigh Vacuum) 전송 챔버를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 는 기판 홀더의 영역 역할을하며, 이큐전 셀은 소스 물질을 증발시키는 데 사용됩니다. 이어서, 소스 물질은 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 에 의해 기판에 운반되고 증착된다. 증착이 완료되면, 셔터를 사용하여 챔버에서 기판을 분리 할 수있다. 다른 셔터는 추가 소스 재료를 고진공 챔버에 방출하는 데 사용할 수 있습니다. UHV 트랜스퍼 챔버 (transfer chamber) 는 또한 고 진공 환경 (high-vacuum environment) 으로 기판을 안정적으로 수송하기위한 격리 환경을 제공하며, 부분 압력이 10 ~ 9mbar 인 가스 환경으로 증가하는 에피 택시 층을 보호하기 위해 안전하게 밀봉 될 수있다. 또한 액체 질소 냉각 온축 반사 고에너지 회절 (RHEED) 도구, 자동 연동 안전 자산, 광학 분광학 기능, 온도를 정확하게 조작하는 난방 및 냉각 요소, 동적 압력 제어 프로그램, 컴퓨터 제어 및 데이터 획득 모델, 수동 제어 장비. RHEED 시스템은 기질의 결정성과 성장하는 에피 택시 층 (epitaxial layer) 을 실시간으로 모니터링하는 전자 총 (electron gun) 과 검출기 (detector) 로 구성됩니다. 광학 분광학 (optical spectroscopy) 기능을 통해 사용자는 흡수 및 반사도 (refectivity) 와 같은 에피 택시 레이어의 다양한 특성을 조사 할 수 있습니다. 가열 및 냉각 요소는 -40 ° C ~ + 900 ° C의 온도를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 동적 압력 제어 장치 (dynamic pressure control unit) 는 고진공 챔버의 압력을 안정적으로 유지하는 데 사용됩니다. 컴퓨터 제어 및 데이터 획득 기계는 실시간 도구 모니터링 및 제어를 제공합니다. 마지막으로 수동 제어 에셋 (Manual Control Asset) 을 사용하면 모델의 매개변수를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 결론적으로, 32P MBE (molecular beam epitaxy) 장비는 뛰어난 결정성, 낮은 결함 함량 및 정밀 두께로 epitaxial 층의 정밀 박막 성장을 제공하는 고급 다기능 시스템입니다. 추가적인 구성요소 (component) 는 제어 (control) 및 모니터링 (monitor) 기능이 향상되어 epitaxial 레이어를 합성하고 배치하는 다용도 장치입니다.