판매용 중고 RIBER 32 #9285342

MBE (Molecular Beam Epitaxy) 는 기판의 반도체 및 기타 물질의 성장에 사용되는 기술입니다. RIBER SA에서 생산 한 RIBER 32는 고급 복합 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고성능 MBE 장비입니다. 각각 웨이퍼 처리 시스템과 2 개의 소스 보트가 포함 된 2 개의 UHV (Ultra High Vacuum) 모듈이 장착되어 있습니다. 이것은 광범위한 재료와 기판에 적합합니다. 32 개는 퇴적 및 증발 챔버를위한 모듈 식 설계를 특징으로합니다. 각 모듈은 재료 증착 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 가스 공급, 압력, 온도 조절 등 다양한 프로세스 제어 옵션을 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 급냉식 오븐 (rapid-cooling oven) 이 장착되어 있어 증착 후 기판을 상온 이하로 빠르게 냉각시킬 수 있으며, 재료 성장 동안 우수한 품질 제어를 제공합니다. 증착률 이 높기 때문 에, 동시 증발 을 허용 하는 두 개 의 "보우트 '는 장치 제작 과 관련 된 시간 과 비용 을 감소 시킬 수 있다. 또한, 이 기계는 고급 에너지 응답 기능을 갖추고 있으며, 증착 전에 입사 에너지를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 2 개의 UHV 모듈은 IAU (Integrated Analysis Unit) 에 연결되어 성장 과정의 현장 분석을 허용합니다. IAU에는 in situ Reflectance-Absortion-Spectroscopy 분광기 (RAS), Ellipsometer 및 Quadrupole Mass Spectrometer와 같은 여러 구성 요소가 포함됩니다. 이러한 컴포넌트를 사용하여 재료의 증가를 실시간으로 모니터링하고 재료 특성 최적화 (optimize material properties) 를 지정할 수 있습니다. 전반적으로, RIBER 32는 고성능 배치 기능과 고급 장치 제작에 필요한 사용자 친화적 인터페이스를 제공합니다. 다중 소스 보트 설계, 고속 냉각 오븐 (rapid-cooling oven) 및 현장 분석 기능을 갖춘 이 도구는 복합 반도체 장치의 제작에 이상적인 선택입니다.