판매용 중고 RIBER 2300 #9246157

제조사
RIBER
모델
2300
ID: 9246157
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system Configured for GaAs.
분자 빔 에피 택시 (MBE) 는 기판에 박막을 증착시키는 기술이다. 이 방법에서, 샘플은 실온에서 가스 종 (그룹 III 및 V 요소와 같은) 의 분자 빔으로 폭격되어, 매우 높은 정도의 제어를 갖는 물질층-층의 얇은 필름을 증착시킨다. RIBER 2300 MBE 장비는 구성, 두께 및 격자 구조가 정확하게 제어 된 에피 택시 레이어 및 나노 구조를 생산하기위한 고성능 박막 증착 도구입니다. 2300은 최대 4 개의 에퓨전 셀, 2 개의 쿼드-증발기 (Quad-Evaporator) 및 이동 가능한 웨이퍼 홀더가 장착 된 기판 챔버 주위에 위치한 이온 소스를 기반으로하는 모듈 식 설계를 특징으로합니다. 또한 닫힌 루프 냉각 시스템 (closed loop cooling system) 을 갖추고 있어 샘플에 균일 한 온도를 제공하고 증착 조건이 안정적으로 유지됩니다. MBE 시스템에서 생성 된 고온은 최대 1500C 온도를 처리 할 수있는 소프트웨어 제어를 요구합니다. RIBER 2300에는 다중 채널 디지털 온도 컨트롤러가 장착되어 있으며, 최대 10개의 영역을 제어할 수 있으며, 난방 속도는 초당 최대 50C입니다. 이는 제어 온도 프로세스에 대한 최고 수준의 정확도를 보장합니다. 또한 2300에는 독특한 저항 가열 기판 홀더, 원래 Auger 전자 분석기, 전기 플라즈마 보조 소스 및 고압 분자 빔 소스가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 운영 유연성을 높이고 RIBER 2300을 반도체 구조, 자기 터널 접합 및 고급 메타 재료의 MBE 성장을 위한 강력한 도구로 만들 수 있습니다. 2300 (2300) 은 또한 사용자에게 증착 매개변수를 쉽고 직관적으로 제어 할 수있는 고도로 인체 공학적 인 디자인을 제공합니다. 이 장치에는 직관적 인 소프트웨어 (직관적인 소프트웨어) 가 장착되어 있어 퇴적 (deposition) 과정을 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. GUI (Graphical User Interface: 그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하면 작업을 성공적으로 수행할 수 있도록 신뢰할 수 있는 정보를 제공하면서 빠르고 쉽게 사용자 상호 작용을 수행할 수 있습니다. RIBER 2300은 다용도, 신뢰성 및 고성능 MBE 도구를 찾는 연구원에게 이상적인 선택입니다. 증착 매개변수 (deposition parameters) 를 정확하게 제어하고 증착 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 허용합니다.
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