판매용 중고 OXFORD / VG SEMICON V100 #9036615

OXFORD/VG SEMICON V100은 고급 박막 증착 공정을 위해 설계된 정교한 MBE (molecular beam epitaxy) 장비입니다. 이 제품은 높은 진공, 저압, 매우 높은 진공 (vacuum) 기술을 매우 신뢰할 수 있는 어플리케이션 특정 프로세스 기술의 호스트와 결합합니다. 옥스포드 V100 (OXFORD V100) 은 확장 영역 패턴 처리, 전도 계층 증가 프로세스, 고품질 표면 마무리 등 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 이러한 공정은 분자 빔 에피 택시 (molecular beam epitaxy) 의 기술을 기반으로하며, 여기서 원하는 물질의 박막은 초고진공실에서 기질에 강착된다. 적절한 온도로 가열 된 기질은 고강도 전자 빔 (high intensity electron beam) 및 기타 소스를 사용하여 증발시키는 전구체 분자의 입사 빔에 노출된다. VG SEMICON V100 (VG SEMICON V100) 은 안정적이고 반복 가능한 프로세스 균일성을 위해 2 개의 고립 된 초고 진공 챔버를 제공하며, 둘 다 다른 프로세스 모듈 세트를 장착하여 증착율, 배경 압력, 기판 온도 등과 같은 원하는 매개 변수를 최적으로 제어합니다. 또한 전기 모듈, 난방 모듈, 강력한 열전대 모듈 (thermocouple module) 을 통해 챔버 내부의 온도 균일성을 정확하게 모니터링하고 조절할 수 있습니다. V100에는 다양한 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 여기에는 다중 가스 분사 시스템 (Multiple Gas Injection System) 이 포함되며, 광범위한 가스에 대한 다양한 가스 전달, 가스의 자동 흐름 제어, 전자 빔의 강도 및 크기 제어, 프로세스 시작, 안정화 및 종료 프로세스. 옥스포드/VG 세미콘 V100 (OXFORD/VG SEMICON V100) 은 박막 증착을 위해 고정밀도, 고급 및 신뢰성 MBE 장치가 필요한 사용자에게 완벽한 선택입니다. 이 기계의 기능을 통해 반도체 생산, 약물 및 생명 공학 생산, 고급 전자, 옵토 전자 제품, 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 와 같은 다양한 응용 기능을 확장 할 수 있습니다. 옥스포드 V100 (OXFORD V100) 에서 제공하는 향상된 프로세스 제어는 절대적으로 고품질의 필름을 안정적이고 반복적으로 증착합니다.