판매용 중고 DCA / DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 #293595316
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ID: 293595316
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system
Flexible vacuum tube: LN2 Supply
Cassette loadlock
Pentium 4 1.5 GHz computer
RAM: 256 MB
Hard disk: 20 GB
Floppy disk, 3.5"
CD-ROM Speed: 12-24
SVGA Monitor, 19"
Digital and analog I/O interface cards
Multi RS232 card
Maximum vacuum interlock: 200℃
Beam Flux Monitor (BFM)
Residual Gas Analysis (RGA)
RHEED (30 keV, Staib)
UPS System
Liquid nitrogen
Buffer chamber: < 5 x 10^-10 torr
Load lock: < 2 x 10^-6 torr
Growth chamber: < 1.0 x 10^-9 torr
Materials used: GaAs, GaInAs, AlGaAs epitaxy
(2) Ga
(2) Cold lip Al
In
13 cc Si
Be
V group: 1000 Valved cracker
Pumps:
Cryo pump
(2) Ion pumps (Valcon Plus 300, 500)
(2) Turbo pumps (VARIAN Turbo-V 301, 551)
(2) Dry scroll pumps (VARIAN SH-100, Tri scroll 300).
DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600은 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 장비입니다. DCA P600 (DCA P600) 은 원자 수준에서 박막과 다층을 만들도록 설계된 컴퓨터 제어, 고정밀, 고진공 시스템입니다. 챔버는 초고진공 (UHV) 조건에서 작동하며 실온에서 수천 도에 이르는 강착 온도를 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 소스 잠금 (Source Lockout) 연동 장치 (Interlock Machine) 가 장착되어 있어 위험 이벤트가 발생할 경우 프로세스를 종료합니다. DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBE 도구는 고성능 전자 및 광학 재료를 생산하는 데 적합합니다. 전자 충격 증발 원 (electron impact evaporation source) 과 분자 빔 소스를 포함한 다양한 다른 소스를 사용합니다. 이 자산은 갈륨-비소, 갈륨-질화물 및 인듐-포스파이드와 같은 물질의 고정밀 성장을 수행 할 수 있습니다. 또한 고급 광학 증착 및 특성화를위한 고급 FAR (Frequency-Agile Radiation Source) 이 장착되어 있습니다. P600 MBE 모델은 미크론 스케일 기능으로 초소형 에피택셜 레이어 (epitaxial layer) 를 생성하는 기능과 특수 요구 사항에 대한 나노스케일 (nanoscale) 기능을 포함하여 다양한 정밀 기능을 제공합니다. 이 장비에는 전문적으로 설계된 환경실 (Environmental Chamber) 이 포함되어 있어 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 컴퓨터 제어 시스템인 DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBE 장치에는 다양한 소프트웨어 도구와 인터페이스 옵션이 장착되어 있어 프로세스 제어를 더욱 향상시킵니다. 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 는 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 다양한 정보 및 제어 옵션 (실시간 온도, 압력 디스플레이 등) 을 제공합니다. 전반적으로, DCA P600 MBE 머신은 연구원과 제조업체가 박막 및 나노 구조에서 최고 수준의 정밀도를 달성하도록 설계된 최첨단 도구입니다. 고정밀 필름 증착, 다양한 증착 온도, 사용자 친화적 인 컴퓨터 인터페이스, 환경 관리 등 다양한 이점을 제공합니다.
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